판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158026

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 IC 및 반도체 제조업체의 생산 수율을 향상시키기 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 조립식 얇은 금속, 폴리 이미 드 및 기타 필름 기판 웨이퍼에 포토 폴리머 "잉크" 를 적용하여 포토 esist의 정확한 패턴을 허용합니다. TEL Clean Track Mark 7은 고급 통합 공정 정렬 기능을 제공하여 최대 0.25hm까지 패턴 노출을 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 기능은 0.6 äm 순서의 패턴에 대한 감광 정확도를 향상시킵니다. 이 기계는 또한 자동 워밍 (Auto-Warmup) 옵션을 갖추고 있으며, 노출 프로세스 전에 빠른 가열 프로세스를 제공하고 고르지 않은 온도로 인한 노출 이상을 방지합니다. 이 장치는 초단파 엑시머 레이저를 사용하여 감광 이미지의 정밀도를 향상시킵니다. 이 레이저는 더 높은 밝기와 더 큰 노출 영역을 제공하여 머신 사이클 시간 (machine cycle time) 을 줄여 노출 시간을 단축합니다. 게다가, "레이저 '는 최소 기능 크기 를 줄이고 변화 를 효과적 으로 감소 시킴 으로써, 전통적 인" 시스템' 에 비해 더 높은 해상도 를 제공 한다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7에는 DCS (내장 오염 제거 도구) 프로세스도 있습니다. DCS는 노출 전에 이미징 (Imaging) 및 노출 (Exposure) 영역의 오염 물질을 정리하도록 설계되었습니다. 이 기능은 노출 과정에서 오염의 가능성을 줄이고, 포토리스 (photoresist) 패턴화 과정의 정확성과 안정성을 향상시키는 데 도움이됩니다. Clean Track Mark 7에는 지정된 재료 및 응용 프로그램에 가장 적합한 조건을 사용자 정의하는 몇 가지 옵션이 있습니다. 자산의 고급 기능에는 다양한 고객 지원 서비스 (예: 원격 진단, 모델 유지 보수, 소프트웨어 업그레이드) 가 포함됩니다. 이러한 모든 기능을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 반도체 및 IC 제조를위한 가장 안정적이고 효율적인 포토 esist 시스템 중 하나입니다.