판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293589793

ID: 293589793
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
(2) Coater system, 8" Process: AL-CH, PIQ 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7) 은 회로 기판, 박막 개발, 세밀한 석판화 프로세스 및 기타 고급 기술에 적합한 고해상도 프로세스 창을 생산하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 독자적인 단일트랙 (single-track) 시스템으로서 수작업 없이 다양한 광중합체 (photopolymer) 와 에폭시 저항물질 (epoxy resist materials) 을 빠르게 처리할 수 있다. 이 장치에는 고정밀도 스테이지, 고급 광학 컴포넌트, 정밀도 에지 배치 도구 (precision edge placement tools) 가 있어 오늘날 가장 효율적이고 신뢰할 수있는 포토레시스트 시스템 중 하나입니다. CTM7의 무대는 최대 6 "로 이동할 수 있습니다. 고해상도 (High-resolution) 스테이지는 한 번에 최대 400 개의 마스크를 보유하여 빠르고 정확한 마스크 배치가 가능합니다. 고해상도 단계에는 정밀 서보 모터, 선형 베어링, 고속 작동 중 추적 정확도가 향상되는 고해상도 절대 인코더가 포함됩니다. CTM7은 또한 schmeisser 10X 옵티컬 어셈블리 및 고해상도 자동 마스크 정렬 머신과 결합된 30x30x50 mm의 대규모 작업 조리개 (예: 30x30x50 mm) 와 같은 고급 광 구성 요소를 제공하여 최종 제품의 정확한 마스크 배치 및 낮은 공차를 보장합니다. CTM7은 또한 최대 레이어 두께가 1.5 미크론, 피쳐 너비가 0.1 mm 인 포토 esist 캐스팅 도구를 포함합니다. CTM7 은 다재다능하고 신뢰할 수 있는 자산으로, 저렴한 비용으로 고해상도 마스크를 생산하는 데 적합합니다. 직관적인 운영 소프트웨어는 통합 가상 설비, 자동 어셈블리 이동 (Automated Assembly Move), 다중 레시피 (Multiple Recipe) 와 같은 빠르고 간편한 모델 운영 및 고급 기능을 제공합니다. 또한 CTM7은 빠른 변경 도구와 정확한 마스크 배치 (mask placement) 및 낮은 오염 수준을 위한 정밀 모서리 배치 도구를 제공합니다. 또한 고급 사진 식자술 (photolithography) 공정에 대한 다양한 광 폴리머, 에폭시 및 기타 저항 물질을 처리 할 수 있습니다. 요약하면, TEL Clean Track Mark 7은 고급 옵틱, 자동 마스크 정렬 및 통합 소프트웨어를 사용하여 매우 정확하고 저렴한 제작을 수행하는 정밀 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 회로 기판, 박막 장치 및 기타 파인라인 리소그래피 (fine-line lithography) 제품의 생산에 가장 적합한 결과를 제공하기 위해 제작되었습니다.
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