판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269257

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 고급 재료 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 최고 수준의 청소실 생산성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 최고 수준의 정밀도 (precision) 로 작동할 수있는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 클린 트랙 (Clean Track) 시스템은 반전 된 카세트 장치를 사용하여 다양한 기판에서 가장 균일성과 일관성을 보장합니다. "머신 '은 여러 개 의 기판 을 동시 에 처리 할 수 있도록 설계 되었으며, 그 결과 처리량 이 뛰어나다. 카세트에는 양면 기판 홀더가 포함되어 있어 처리 중 손상이 매우 낮고 균일성 (unifority) 이 있습니다. 이 도구를 사용하면 동적 드롭릿 분산 에셋을 통해 신뢰할 수있는 기판 표면 청소가 가능합니다. 이 모델은 고유 한 공기 제거 솔루션 (air purge solution) 을 사용하여 처리 영역에서 모든 입자를 제거하여 최대 입자 보존을 제공합니다. 이 장비에는 프로덕션 라인 사용자 정의가 가능한 웨이퍼 크기 선택 (wafer size selection) 옵션이 있습니다. 또한 자동 기판 인덱싱 시스템 (automatic substrate indexing system) 을 제공하여 웨이퍼와 기판을 손쉽게 처리 및 처리할 수 있습니다. 이 장치는 2 차원 이미징 기술을 사용하여 등록의 균일성과 정확성을 보장합니다. photoresist 기계는 또한 4 단계 광학 정렬 도구를 갖추고 있으며, 이를 통해 노출 광학을 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이 자산은 해상도 10äm로 최대 10ms의 노출 시간을 지원합니다. 이 장치에는 기판 온도 조절 모델 (기판 온도 조절 모델) 이 장착되어 있어 균일 한 기판 온도 및 저항의 경화를 보장합니다. 이 장비는 긍정적, 부정적인 저항을 포함한 많은 포토 esist 재료와 호환됩니다. 그것 은 광범위 한 환경 상태 를 견디도록 설계 되었으며, 그 로 인해 사용 기간 이 길어질 수 있게 되었다. 그렇다. 이 장치에는 고성능 발전기 (generator) 도 장착되어 있어 최고 수준의 노출을 보장합니다. 청소 트랙 (Clean Track) 시스템은 향상된 청소 프로세스를 통해 높은 수율과 정확한 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 설계는 가장 복잡한 처리 작업을 위한 최고의 정확성과 안정성을 보장합니다. 최첨단 재료를 처리하는 데 이상적인 장치입니다.