판매용 중고 SEMITOOL 860S #9265752

SEMITOOL 860S는 고성능, 유연성 및 신뢰성을 제공하는 포토리스 연주자 스트립핑 및 코팅 시스템입니다. 하이엔드 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 탁월한 공간 균일성, 높은 처리량, 뛰어난 가동 시간, 손쉬운 유지 관리, 다른 시스템과의 통합 등 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 860S의 주요 공정 챔버 (main process chamber) 에는 거의 800 리터의 양이 있으며, 이는 플라즈마 챔버 전체에서 우수한 균일성을 제공하는 데 도움이됩니다. 챔버 (chamber) 는 4면 모두에서 절연되도록 설계되었으며, 이는 챔버 내에서 균일 한 온도를 보장하는 데 도움이됩니다. 이를 통해 레지스트 레이어를 기판에 일관되게 적용 할 수 있습니다. 이 "약실 '은 또한 정밀 하고 일관성 있는 압력 조절 을 위해 설계 되었는데, 이것 은 그 과정 이 신속 하고 정확 하게 수행 되도록 하는 데 도움 이 된다. 세미 툴 860S (SEMITOOL 860S) 에는 온보드 레지스트 스트립 스테이션 (resist strip station) 이 있어 제조 과정에서 어려운 포토 esist를 쉽고 효율적으로 제거 할 수 있습니다. 고급 이중 헤드 스트리핑 메커니즘은 산화물 용해 용매를 사용하며, 기판의 손상을 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한 저항층 (Resist Layer) 의 신속한 적용을위한 스핀 코팅 스테이션 (Spin Coating Station) 이 내장되어 있어 정확한 균일성과 높은 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 사용자에게 친숙한 인터페이스와 직관적인 그래픽 제어 (Graphical Control) 기능을 제공하여 모든 프로세스를 설정하고 실행하는 프로세스를 단순화합니다. 또한 860S는 다른 시스템과 손쉽게 통합할 수 있으므로, 쉽게 자동화하고 연결할 수 있습니다. 전반적으로, SEMITOOL 860S는 고급 반도체 산업의 포토 esist 코팅 및 스트리핑 요구에 이상적인 솔루션입니다. 탁월한 균일성, 높은 처리량, 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 갖춘 반도체 제조업체라면 어떤 제품도 활용하지 못할 수 있습니다.