판매용 중고 SEMITOOL 470F #9268571

제조사
SEMITOOL
모델
470F
ID: 9268571
Spin Rinse Dryer (SRD) Stand alone.
SEMITOOL 470F Photoresist Equipment는 반도체 및 하이브리드 회로 제작 프로세스의 엄격한 요구 사항을 처리하도록 설계된 고성능, 고급 습식 처리 시스템입니다. 이 장치에는 확장 가능하고 확장 가능한 전용 플랫폼이 장착되어 있으며, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 에서 SOI 웨이퍼 구성 (Wafer Fabrication) 에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 대한 다양한 욕조, 모듈 및 관련 주변 장치를 구성할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 고급 소프트웨어 기능이 기본으로 제공되며, 광범위한 프로세스 제어, 모니터링, 보고 기능이 제공됩니다. 470F Photoresist Tool은 이전 모델의 안정적인 확장성과 뛰어난 성능을 기반으로 합니다. 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 프리 베이크, 노출, 포스트 베이크, 개발 및 복잡한 멀티 스텝 프로세스와 같은 모든 표준 포토 esist 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 자산은 25 개가 넘는 개별 욕조를 사용하여 용매, 린스, 프리 베이크, 구운 후, 린스 개발자 및 반사 방지 코팅을 포함한 완전한 프로세스를 수행합니다. 여러 구성과 레시피를 지원하기 위해 SEMITOOL 470F 는 표준화된 모듈식 설계를 통해 목욕탕 및 모듈을 빠르고 쉽게 스왑 (swappability) 할 수 있습니다. 이 모델에는 레시피 매개변수와 프로세스 결과를 제어, 저장, 모니터링하는 직관적인 터치 스크린 인터페이스도 있습니다. 터치 스크린 인터페이스는 자세한 온도, 동요, 화학 정보를 표시하며, 모든 매개변수 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 직관적이고 대화형 터치스크린 인터페이스 (Interactive Touch Screen Interface) 를 통해 사용자는 실시간 프로세스 정보에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있으며, 최적의 결과와 엄격한 제조 공차를 보장하며, 운영 프로세스에 가치를 더할 수 있습니다. 고성능 소프트웨어는 470F 내에 내장되어 있어 데이터 기반 프로세스 모니터링 및 제어가 용이합니다. 본 소프트웨어는 모든 장비 프로세스에 대한 사양, 경고, 진단, 보고 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 이 소프트웨어의 견고한 보고 기능은 프로세스 매개변수, 프로세스 상태, 프로세스 기록 등에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 이 정보를 빠르고 쉽게 분석하여 운영 프로세스를 최적화하고, 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. SEMITOOL 470F는 최소한의 기술자 상호 작용으로 다양한 photoresist 프로세스를 효율적이고 효과적으로 처리하도록 조정되었습니다. 이 시스템은 스핀 코팅, 프리 베이크, 노출, 포스트 베이크 및 개발을 포함한 복잡한 멀티 스텝 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 강력한 소프트웨어는 사용자가 데이터 기반 프로세스 모니터링 및 제어를 수행할 수 있게 해주는 동시에, 운영 내결함성이 철저하게 보장됩니다. 마지막으로, 직관적인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 사용하면 실시간 프로세스 정보에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있으며, 이를 통해 운영 프로세스를 사용자 정의하고 최적화할 수 있습니다.
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