판매용 중고 MESETEK VFC-8000 #9198035

MESETEK VFC-8000
ID: 9198035
Coater system.
MESETEK VFC-8000 포토 esist 장비는 다양한 사진 석판 처리 및 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 모듈식 시스템입니다. 전자, 의료, 광학, 디스플레이 산업의 다양한 생산, 연구 응용에 적합한 다양한 기능을 갖추고 있습니다. VFC-8000 은 모듈식 플랫폼을 통해 사용자에게 유연하고 편리한 솔루션을 제공합니다. 단일 (single-beam) 및 이중 빔 (dual-beam) 을 포함한 다양한 구성으로 제공되며, 최대 8 개의 독립 레이저가 있으며 다양한 노출 에너지를 지원합니다. 이 장치는 광범위한 웨이퍼 (직경 최대 8 인치), 포토 esist 및 기타 여러 재료를 효과적으로 노출 할 수 있습니다. 이 기계의 고급 광학 분포 기능에는 단일 빔 (single-beam) 및 이중 빔 (dual-beam) 노출 시스템 모두에서 노출 균일성을 최대화하는 혁신적인 노출 정렬 프로세스가 포함됩니다. 또한 노출 표시등을 원하는 영역에 정확하고 정확하게 초점을 맞추는 빔 포커싱 도구 (beam focusing tool) 도 포함되어 있습니다. MESETEK VFC-8000의 조명 제어 자산은 전체 노출 영역에서 정확하고 지속적인 노출 수준을 보장합니다. 이는 가장 균일 한 박막 증착과 기능 크기의 최적의 해상도를 보장합니다. 또한 VFC-8000 은 개발된 포토레시스트의 품질에 대한 실시간 피드백을 제공하는 프로세스 모니터링 (process monitoring) 모델을 통해 사용자가 프로세스 문제를 신속하게 파악할 수 있도록 지원합니다. 프로세스 모니터링 장비의 일부로, MESETEK VFC-8000 (MESETEK VFC-8000) 에는 포토 esist가 저장 및 반복 가능한 방식으로 개발되도록 지원하는 활성 장애 감지 시스템도 포함되어 있습니다. 전반적으로, VFC-8000은 고급, 모듈식 포토레지스트 (photoresist) 유닛으로 사용자에게 리소그래픽 프로세스를 최대한 유연성, 정확성 및 제어할 수 있습니다. 혁신적인 정렬 및 포커스 머신, 액티브 장애 감지 (Active Fault Detection), 모니터링 도구 (Monitor Tool), 액티브 노출 수준 (Active Exposure Level) 등 다양한 기능을 통해 안정적이고 균일한 박막 증착을 보장하고 프로세스 주기 향상에 도움이 됩니다. MESETEK VFC-8000은 전자, 의료, 광학 및 디스플레이 산업을 위한 탁월한 솔루션입니다.
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