판매용 중고 KARL SUSS ACS 200 Plus #9300428

KARL SUSS ACS 200 Plus
ID: 9300428
웨이퍼 크기: 6"
Coater / Developer system, 6".
KARL SUSS ACS 200 Plus는 자동 포토 esist 처리 장비입니다. 광물질 (photoresist), 금속 (metal), 유전체 (dielectric) 와 같은 박막 재료의 화학 및 기계 리프트 처리에 사용되는 견고한 시스템입니다. 이 포토레시스트 (photoresist) 장치는 단순하고, 사용자 친화적인 작업을 통해 안정적이고 반복 가능한 결과를 위한 최적화된 설계를 제공합니다. 이 자동 기계는 최대 12 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있으며, 코팅 두께와 우수한 선형성을 제공합니다. 이 도구는 비용 효율적인 photolithographic 프로세스에 핵심적인, 반복 가능하고 예측 가능한 결과를 통해 고급, 정확한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 자산은 화학 물질 관리 모델 (chemical management model) 을 특징으로하며, 이 과정에서 화학적 농도를 기록함으로써 안전하고 안전한 작동을 보장합니다. 이 장비 는 또한 자동적 인 "펌프 '를 갖추고 있는데, 이것 은 정밀 하게 교정 된 농도 로 깨끗 한 화학 물질 로 가공" 펌프' 를 보충 한다. ACS 200 Plus는 최신 고급 린스 기술 (Rinse Technology) 을 갖추고 있으며, 정확하고 안정적인 린스 스파이킹뿐만 아니라 린스 제어를 제공합니다. 또한 가속도 및 감속 시간이 다양한 각 채널에 대해 동시 및 독립적 인 속도 제어를 통해 스핀 프로세스를 최적화하는 고급 6 채널 스핀 컨트롤러 (Advanced 6 Channel Spin Controller) 가 포함되어 있습니다. 포토레스 (photoresist) 시스템은 또한 사용자 정의 가속 및 감속으로 레시피를 정확하게 최적화 할 수있는 고급 프로그래밍 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 컨트롤러는 웨이퍼에 전념하기 전에 프로세스를 시뮬레이션하여 최적의 성능과 반복 (repeatability) 을 보장합니다. KARL SUSS ACS 200 Plus는 많은 혁신적인 기능을 갖춘 매우 안정적이고 효율적인 포토 esist 장치입니다. 정밀 스핀 코팅, 프로그래밍 가능한 화학 관리, 고급 린스 제어를 통해 안정적이고 반복 가능한 석판 처리를 지원합니다. 이 기계는 고정밀 사진 사진 촬영 프로세스를 처리 할 수 있으며, 최첨단 반도체 제작을위한 귀중한 도구입니다.
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