판매용 중고 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW #9132891

DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW
ID: 9132891
빈티지: 1998
Wafer Size, 1998 vintage.
DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW는 반도체 제조 분야의 응용 분야를 위해 설계된 특수 로봇 웨이퍼 처리 장비입니다. ODC-1402BEW (ODC-1402BEW) 는 최첨단 로봇 암을 사용하여 다양한 프로세스 단계 사이에서 웨이퍼를 처리 및 전송합니다. 이 시스템에는 최대 150 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 표준 웨이퍼 홀딩 매거진이 포함되어 있습니다. DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW는 6 개의 축이있는 독점 로봇 팔을 사용하여 프로세스 단계를 통해 웨이퍼를 정확하게 조작합니다. 이 "로봇 '암 은" 와퍼' 의 위치 를 정확 하게 결정 하고 정확 하고 반복 할 수 있는 처리 를 위해 사용 되는 고급 "비전 '장치 에 결합 되어 있다. 고급 모션 컨트롤 머신 (advanced motion control machine) 은 웨이퍼 회전, 정확한 위치 지정, 홀수, 고장, 소형 웨이퍼 크기의 선택적 처리 등의 고급 작업을 수행할 수 있습니다. ODC-1402BEW는 스퍼터 증착, 에치 클리닝, 포토 esist 코팅 등과 같은 광범위한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 각 단계는 프로세스 시간 (process time), 두께 (thickness), 온도 (temper) 및 사용자 친화적 제어 소프트웨어의 사전 설정과 같은 매개변수를 사용하여 독립적으로 결정되고 작동될 수 있습니다. 이 도구는 처리량을 극대화하여, 높은 수율과 뛰어난 품질의 제품을 생산할 수 있도록 설계되었습니다. DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW에는 자산을 특정 응용 프로그램으로 사용자 정의하기 위해 다양한 액세서리를 장착 할 수도 있습니다. 여기에는 원격 플라즈마 소스, 통합 퍼징 및 벤팅 모델, 하드 베이크 (hardbake) 응용 프로그램을위한 냉각 장비가 포함됩니다. ODC-1402BEW (ODC-1402BEW) 는 산업용 알루미늄 및 스테인리스 스틸 프레임 워크를 사용하여 건설되었으며, 반도체 청소실 환경에서 작동하도록 평가되었습니다. 이 제품은 기존 운영 시스템에 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 공장 출하 시 제공되는 다양한 구성 옵션 (Configuration Option) 과 요청 (Request) 을 통해 제공되는 맞춤형 구성 (Custom Configuration) 을 갖추고 있습니다. DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW는 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES의 우수 고객 서비스 및 기술 지원 팀의 지원을 받아 투자를 견고하게 유지합니다. ODC-1402BEW (ODC-1402BEW) 는 고급 비용 효율적인 로봇 웨이퍼 처리 시스템으로, 뛰어난 품질의 제품을 인상적인 처리율로 생산할 수 있습니다.
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