판매용 중고 AQUEOUS TECH ECO 6300uP #9185561

AQUEOUS TECH ECO 6300uP
ID: 9185561
빈티지: 1992
Stencil cleaning systems 1992 vintage.
AQUEOUS TECH ECO 6300uP는 Aqueous Technologies에서 제공하는 고급 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 매우 깨끗한 다이 (die) 부착에서 고급 광자 장치 제작에 이르기까지 다양한 연구, 개발, 생산 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 6 스테이션 클러스터 도구를 사용하여 직경이 최대 6 "인 웨이퍼를 완전히 처리 할 수 있으며, 선택적인 다이 첨부 프레임 (die attach frame) 을 사용하여 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 정확하고, 반복 가능하며, 오염이 적은 프로세스를 위해 정밀 구성 요소와 조정 가능한 매개 변수가 포함됩니다. ECO 6300uP 는 특정 디스펜싱 운영 및 정확한 솔루션 제공을 위해 스마트 카드 기반의 프로그래밍 가능한 디스펜싱 유닛을 갖추고 있습니다. 이 기계는 단순 웨이퍼 클리닝 (simple wafer cleaning) 에서 다중 챔버 프레임 처리 (multi-chamber frame processing) 에 이르기까지 다양한 유형의 프로세스를 실행할 수 있습니다. 이 장치는 소형 폼 팩터 (form factor) 로 설계되어, 클린 룸 환경에서 사용할 수 있습니다. 게다가, 전체 툴은 자동으로 액세스 가능하고 응답성이 높으며, 프로세스 관리 (process management) 및 전체 프로세스에 대한 정확한 제어 기능을 제공합니다. 이 자산은 특허를받은 이중 파장 홍수 총 (dual-wavelength flood gun) 을 특징으로하며 증기 흐름 및 오염을 제어하면서 정확한 스프레이 패턴을 제공하도록 설계되었습니다. 관개 장치 는 균일 하고 균일 한 "웨이퍼 '덮개 를 제공 하여, 불완전 한 취재 와 오염 의 위험 을 감소 시키도록 설계 되었다. 이 모델은 최초 운영자에게 사용자 친화적 (user-friendly) 으로 설계되었으며, 손쉽게 작동할 수 있도록 대화형 터치스크린 인터페이스가 제공됩니다. 이 장치는 다양한 웨이퍼 유형 (wafer type) 과 크기 (size) 와 다양한 프로세스 요구를 수용할 수 있습니다. AQUEOUS TECH ECO 6300uP는 강력하고, 안정적이며, 효율적인 장비로, 광자 장치의 연구, 개발 및 생산에 이상적입니다. 이 시스템은 오염이 적은 수준으로 정확하고 반복 가능한 (repeatable) 프로세스를 제공할 수 있으므로 다양한 광자 응용프로그램 (photonic application) 을 위한 최적의 선택입니다.
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