판매용 중고 AQUEOUS TECH AQ 400 #9216776
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AQUEOUS TECH AQ 400은 매우 정밀한 에칭, 애싱, 청소 및 기타 프로세스를 위해 특별히 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 시스템입니다. 최대 스루핑 성능 (through-put performance) 을 통해 거의 모든 크기의 웨이퍼나 두께를 에칭 및 청소할 수 있습니다. AQUEOUS TECH AQ-400은 특허를받은 EASYFLOWR ® 3 단계 통합 웨이퍼 프로세스를 특징으로하며, 최고 수준의 에칭 성능과 깨끗함과 거의 제로 웨이퍼 손상이 결합되어 있습니다. EASYFLOW ® 3 단계 프로세스에는 Etch Stage, Ascending-Flow ™ Stage 및 Cleaning Stage가 포함됩니다. 에치 스테이지 (Etch Stage) 에서 웨이퍼는 조정 가능한 진공 척 (vacuum chuck) 에 잠겨 시스템에 의해 생성 된 고급 에찬트에 노출됩니다. 에찬트 (etchant) 는 웨이퍼와 상호 작용하여 오염을 제거하고 고르게 에칭 된 표면을 생성합니다. 다음으로, 웨이퍼는 어센딩-플로우 (Ascending-Flow) ™ 스테이지 (Stage) 로 옮겨져 웨이퍼 표면에서 입자와 불순물을 제거하는 정확하게 제어 된 초순수 가스 흐름에 노출됩니다. 마지막 단계는 청소 단계입니다. 여기서, 웨이퍼는 특허 보류 중인 SHIELD (TM) 청소 블레이드에 의해 생성 된 회전 스크러빙 액션을 사용하여 모든 미량 입자의 표면을 추가로 청소하는 특수 챔버를 통과한다. AQ 400은 초정밀 에칭 및 청소 작업에 이상적인 시스템입니다. AQ-400은 고정밀 EASYFLOWR (R) 프로세스를 통해 최고의 스루핑 성능 및 초저해상도 오염을 보장하며, 가장 까다로운 초고화질 (Ultra-Clinless) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. AQUEOUS TECH AQ 400은 안정적이고, 사용하기 쉽고, 비용 효율적이며, 최대 성능 및 품질 제어가 필요한 어플리케이션에 적합합니다.
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