판매용 중고 AQUEOUS TECH AQ 400 #9212002

AQUEOUS TECH AQ 400
ID: 9212002
빈티지: 1994
Batch cleaner Open loop system 1994 vintage.
AQUEOUS TECH AQ 400은 최첨단 다른 웨이퍼 처리 장비로, 웨이퍼 (Wafer) 부품 및 장치의 제작에 효율적이고 안정적인 접근 방식을 제공합니다. AQUEOUS TECH AQ-400은 생산성을 최적화하면서 다른 웨이퍼 처리 시스템과 관련된 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 에칭, 저항 스트리핑, 표면 청소 프로세스 등 구리, 텅스텐, 알루미늄을위한 통합 습식 처리 모듈이 있습니다. 또한이 장치에는 최대 8 인치까지 대형 웨이퍼 크기를 수용하기위한 160 위치 카세트 로더와 로더에서 개별 프로세스 모듈로 웨이퍼를 처리 및 전송하기위한 내장 로봇 암 (Robotic Arm) 이 포함되어 있습니다. AQ 400은 습식 에칭, 건식 에칭 및 금속 증착을 포함한 다양한 공정 매개변수를 제공합니다. 유량, 온도, 노출 시간, 솔루션 농도 등의 처리 매개변수를 제어하기 위한 프로그래밍 가능한 프로세스 매개변수가 특징입니다. 또한, 프로세스 중 온도, 압력 및 농도 수준에 대한 실시간 모니터링 및 조정을 제공합니다. 이 기계에는 제도화 된 품질 보증 도구 (Quality Assurance Tool) 가 장착되어 있으며 습식 처리 요구 사항을 위해 JIS (Japanese Industrial Standard) 에 따라 설계되었습니다. 이 자산은 SEMI 안전 표준 (SEMI Safety Standards) 을 완벽하게 준수하며 반도체 처리 및 테스트 프로세스의 전기/안전 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. Aquous Tech AQ-400은 기존의 습식 가공 방법에 비해 에너지 사용 감소, 소음 수준 감소, 폐수 소비 감소 등을 위해 설계되었습니다. 이 모델은 또한 소량의 화학 물질을 사용하여 다른 시스템에 비해 낭비를 최소화합니다. Aquous Tech AQUEOUS TECH AQ 400은 웨이퍼 제작에 이상적이며 웨이퍼 생산의 정확하고 반복 가능한 측정을 제공하도록 설계되었습니다. "경제적인 기능 '과" 첨단 기술' 은 품질을 저버리지 않고 웨이퍼 (wafer) 생산량을 높이려는 사람들에게 완벽한 선택입니다.
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