판매용 중고 ZYGO NewView 5000 #9278752
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ZYGO 뉴 뷰 5000 (ZYGO NewView 5000) 은 반도체 제조 산업의 사용자에게 탁월한 정확성과 반복성을 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 특허를 획득한 기술을 활용하여 성능을 최적화하고 비용을 최소화하는 한편, 제조업체의 엄격한 수율 요구 사항을 충족할 수 있도록 지원합니다 (영문). ZYGO 5000에는 IEEE-1394b FireWire 인터페이스와 3축 듀얼 스테이지 XYZ 스캔 메커니즘이 있습니다. FireWire 인터페이스를 사용하면 장치를 호환 가능한 PC (PC) 에 연결하여 프로그램 조작 및 데이터 입수를 모두 수행할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 비교할 수없는 수준의 정확도, 반복 가능성 및 감도를 가진 고해상도 12.5 센티미터 온보드 카메라가 포함되어 있습니다. 광학에 관해서는 NewView 5000은 전동 객체와 8 "네오디뮴 도핑 이트륨 알루미늄 가넷 (Nd: YAG) 레이저를 사용합니다. Nd: YAG 레이저는 고속 안정화 된 검류계의 모듈화 된 장치에 장착됩니다. 사용자에게 조정 가능한 레이저 스팟 크기 (1m에서 25m까지) 를 제공합니다. 또한 이 도구에는 펄스/홀드 (pulse/hold) 모드에서 레이저를 제어하기 위한 프로세스 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 5000에는 여러 가지 자동 검사 및 결함 식별 도구가 있습니다. 여기에는 결함 크기와 모양, 다이 (die) 에 대한 위치, 참조 점, 패턴화된 피쳐, 경계 및 기타 피쳐를 측정할 수 있는 측정 도구가 포함됩니다. 또한, 에셋에는 다양한 크기와 모양의 마스크 결함을 감지 할 수있는 고급 마스크 패턴 인식 (Advanced Mask Pattern Recognition) 기능이 있습니다. 전반적으로, ZYGO NewView 5000은 인상적인 마스크 및 웨이퍼 검사 모델로, 사용자에게 탁월한 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 산업통상자원부 관계자는 "공공부문· 공공부문· 공공부문· 공업부문· 공업부문· 공업부문· 공업부문· 공업부문· 공업부문 등 공업부문· 공업부문 이 기능들은 효율적인 비용 효율성과 결합하여, 반도체 제조에 이상적인 선택이 됩니다.
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