판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST XPORT #293635944

ID: 293635944
빈티지: 2009
Wafer inspection system 2009 vintage.
RUDOLPH/AUGUST XPORT는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 마스크 및 웨이퍼를 정확하고, 안정적이며, 빠르게 검사할 수 있도록 설계되었습니다. AUGUST XPORT는 고급 CCD 카메라와 레이저 스캐너를 사용하여 결함 분석을 위해 마스크 및 웨이퍼의 깊은 3D 이미지를 생성합니다. RUDOLPH XPORT는 또한 독점적 인 결함 인식 알고리즘을 사용하여 일관되고 정확한 결함 감지 및 분류를 보장합니다. XPORT는 운영 속도 및 효율성을 극대화하기 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 이중 관찰과 전체 3D 이미지 캡처를위한 여러 CCD 카메라가 특징입니다. 고해상도 레이저 스캐너 (High-resolution laser scanner) 는 마스크 및 웨이퍼 표면의 토폴로지에 대한 자세한 정보를 얻기 위해 사용됩니다. 컴퓨팅 성능은 최첨단 임베디드 프로세서 (Embedded Processor) 에 의해 제공되며, 이미지 데이터를 실시간으로 처리하여 RUDOLPH/AUGUST XPORT가 안정적이고 빠른 결함 평가를 할 수 있습니다. AUGUST XPORT의 검사 알고리즘은 결함을 감지, 분류 및 측정하는 최신 통계 방법 및 신경망을 기반으로합니다. 이 시스템은 핀홀, 공백, 균열, 표면 불규칙, 브리징 등 다양한 결함 유형을 식별 할 수 있습니다. 또한 RUDOLPH XPORT는 검사 프로세스의 일부로 오버레이 측정도 수행합니다. 최대한의 효율성과 활용성을 위해, XPORT 는 다양한 맞춤형 구성 기능을 갖춘 직관적이고, 사용자 친화적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 따라서 검사를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 API (Automated Control) 를 통해 공장 자동화 시스템과의 추가 사용자 지정 및 통합이 가능합니다. RUDOLPH/AUGUST XPORT에 포함 된 다른 기능은 고급 결함 감지 및 분석을위한 전체 프로그래밍 언어, 다양한 마스크 및 웨이퍼 크기를위한 장착 및 처리 액세서리 어레이, 종합보고 및 데이터 출력 기능입니다. 전반적으로, AUGUST XPORT는 안정적이고 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 최소 폐기물로 빠른 처리 (turnaround) 가 필요한 생산 프로세스에 적합합니다. 이 제품은 안정성과 속도를 모두 염두에 두고 설계되었으며, 종합적인 기능 체계 (Fature Set) 는 운영 환경에 이상적인 선택입니다.
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