판매용 중고 RAYTEX RXW-1227 EdgeScan #9397347

RAYTEX RXW-1227 EdgeScan
ID: 9397347
Edge defect inspection system.
RAYTEX RXW-1227 Edge Scan은 반도체 산업을위한 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 또한 웨이퍼 모서리의 고해상도 이미징 기능을 통해 이미지 선명도를 극대화하고 전체 웨이퍼 (wafer) 표면에서 작은 결함을 캡처할 수 있습니다. Edge Scan 시스템은 정확도가 높은 인덱싱 메커니즘과 인체 공학적 자동화 (ergonomic automation) 로 구축되어 있어 정확한 제어 및 빠른 설정 시간을 제공합니다. 이 장치의 완전하게 자동화 된 프로세스는 테마 마스크 또는 웨이퍼를 검사 챔버로 로드 및 전송 (loading and transfer) 하는 것으로 시작됩니다. 챔버 내부에서, 상하 스캔 머신은 테마스크 (themask) 또는 웨이퍼 (wafer) 가장자리를 지시하는 정교한 레이저 스캐닝 기술을 사용하여 전체 컨투어를 캡처하고 재료 표면의 고해상도 이미지를 제공합니다. 그런 다음, Edge Scan 도구는 결함 위치와 특성 프로파일을 만들어 빠르고 정확한 결함 평가를 가능하게 합니다. Edge Scan 에셋은 [결함 감지], [표면 프로파일] 및 [오버레이 분석] 의 세 가지 별개의 검사 기술을 사용하여 마스크나 웨이퍼 표면을 포괄적으로 검사합니다. 이 기술을 통해 재료에 대한 비파괴적/파괴적 검사, 결함 감지 기능 강화, 전반적인 결함 감지 정확성 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 결함 감지 (Defect Detection) 기술은 고급 광학 이미지 처리 모델의 도움을 받아 마스크 또는 웨이퍼의 모서리 서피스에서 미세한 결함을 캡처합니다. 서피스 프로파일 (Surface Profile) 기술을 사용하면 모서리 서피스의 3D 스캔을 생성하여 모양을 측정하고 재료의 중요한 치수를 식별할 수 있습니다. 오버레이 분석 (Overlay Analysis) 기술은 마스크 또는 웨이퍼의 여러 레이어 간의 임계 정렬 공차를 감지하고 측정하는 데 사용됩니다. 또한 Edge Scan 장비는 고급 데이터 분석 및 보고 기능을 제공하여 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 결함을 추가로 분석할 수 있습니다. 원격 데이터 분석 기능을 사용하면 다른 사이트의 검사 결과를 신속하게 수집, 분석, 비교할 수 있습니다. 또한, 시스템은 결과 데이터를 익스포트하고, 결함의 근본 원인을 파악하고 품질 관리 (Quality Control) 피드백을 제공하는 데 사용할 수 있는 사용자 지정 가능한 보고서를 생성할 수 있습니다. 전반적으로, RXW-1227 Edge Scan은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로서, 시간과 비용을 절감하고 높은 정확도를 제공합니다. 자동화된 광학 검사 기능, 고급 이미징 기술, 우수한 데이터 분석 및 보고 기능을 통해 Edge Scan은 산업 반도체 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.
아직 리뷰가 없습니다