판매용 중고 LEICA / VISTEC INS 3000 #9238317
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LEICA/VISTEC INS 3000은 가장 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최대한의 결함 감지가 가능하도록 동급 최강의 Optic and Illumination (광학 및 조명) 을 통합하고 높은 처리율을 달성할 수 있는 완전 자동 검사 시스템입니다. 이 장치에는 정확한 정렬 및 포커스 컨트롤 머신 (focus control machine) 이 장착되어 있어 정확한 검사 정확성을 보장합니다. 또한 통합 샘플 로드 (sample loading) 및 포지셔닝 (positioning) 자산을 통합하여 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이 모델은 2D 및 3D 검사를 모두 가능하게 하며, 마스크, 웨이퍼, 기타 다양한 치수의 기판 (기판) 등 다양한 기판의 지형을 검사할 수 있습니다. 첨단 광학 및 조명을 통해 0.5 미크론까지 극도로 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 감도 수준 (level of sensitivity) 은 업계에서 타의 추종을 불허하며, 고감도 검사 (high sensitivity inspection) 를 통해 원하는 결함 자유 품질을 보다 빠르게 확인할 수 있습니다. LEICA INS 3000은 또한 전송 (in-transport) 및 클램프 (on-clamp) 샘플 처리를 지원하므로 프로세스 흐름을 간소화하고 샘플링, 로드, 언로드 및 포지셔닝에 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 (user-friendly) 소프트웨어를 통해 높은 사용자 정의 가능성과 유연성 (flexibleparameter) 설정을 제공하므로 기존 검사선에 쉽게 통합할 수 있습니다. 특허를 획득한 Sub-Angle Imaging Technology (하위 각도 이미징 기술) 는 샘플을 여러 각도에서 모든 방향으로 캡처하여 샘플에 대한 포괄적인 개요를 제공합니다. 이렇게 하면 수동 샘플 회전 (manual sample rotation) 이 필요 없게 되므로, 보다 효율적인 검사 프로세스를 생성하여 가능한 결함을 신속하게 식별할 수 있습니다. VISTEC INS 3000은 유연성, 민감성, 처리량 잠재력으로 인해 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 안정적이고 고성능 (HPD) 솔루션으로, 모두 우수한 결함 감지 성능을 제공하며, 검사 프로세스를 간소화하고, 장비 작업 흐름을 최적화합니다.
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