판매용 중고 KLA / TENCOR 2135 #9139553

KLA / TENCOR 2135
ID: 9139553
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Bright field inspection system, 8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR 2135는 반도체 장치의 마스크 및 웨이퍼 검사에 사용되는 자동 광학 검사 장비입니다. 이 제품은 마이크로 프로세서에서 시스템 온 칩 (system on chip) 에 이르기까지 다양한 유형의 마스크 및 웨이퍼를 검사하기 위해 설계되었습니다. 이러한 설계는 고급 광학, 소프트웨어 알고리즘, 재료 물리학의 사용을 결합하여 정확도, 속도, 반복성을 높입니다. 이 장치의 중심에는 고해상도 카메라가 있는데, 이 카메라는 웨이퍼 (wafer) 나 마스크 (mask) 의 이미지를 캡처하는 데 사용됩니다. 그런 다음, 이러한 이미지를 처리 및 분석하여 장치 표면에서 구조적 결함 (예: 균열, 공백) 을 식별합니다. 카메라는 이동식 플랫폼 (movable platform) 에 장착되며, 장치의 특정 영역에 카메라 헤드를 정확하게 배치할 수 있습니다. 이를 통해 여러 이미지를 하나의 디바이스 (전체 디바이스) 를 중심으로 찍을 수 있습니다. 기계 에서 사용 하는 "소프트웨어 '" 알고리즘' 은 "카메라 '에 의해 캡처 된" 이미지' 를 찍어 분석 하여 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 표면 에 있는 특정 한 결함 을 식별 할 수 있다. 이 분석 과정을 통해 결함 탐지에서 높은 수준의 정확도를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 식별된 결함 (identified defects) 의 정확한 위치를 파악하고 결함 (defects) 에 대한 자세한 분석을 제공할 수 있습니다. 결함 감지 기능 외에도 KLA 2135 역시 다양한 기능을 제공합니다. 장치 내의 기능에 대한 자세한 측정 (예: 선 너비, 두께) 을 제공할 수 있습니다. "마스크 '나" 웨이퍼' 의 정확도 와 정확도 를 결정 하는 데 이러 한 측정 을 사용 할 수 있다. 자산은 또한 광학 특성 (optical properties) 과 전기 특성 (electrical characterics) 을 포함하여 장치의 재료 특성에 대한 자세한 분석을 제공 할 수 있습니다. 이 정보를 사용하여 장치가 필요한 사양에 맞게 제조됩니다 (영문). TENCOR 2135 (TENCOR 2135) 는 매우 정확하고 다재다능한 모델로, 다양한 반도체 장치에 대한 정확한 검사를 수행 할 수 있습니다. 첨단 광학 (Advanced Optics) 과 정교한 소프트웨어 알고리즘의 조합은 결함 감지 (Defect Detection) 및 재료 분석 (Material Analysis) 에서 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다.
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