판매용 중고 KLA / TENCOR 2131 #9210335

KLA / TENCOR 2131
ID: 9210335
웨이퍼 크기: 8"
Inspection system, 8" Parts machine.
KLA/TENCOR 2131은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 제조 과정에서 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 5 축 (Motorized) 단계를 사용하여 회로 성능에 악영향을 줄 수있는 결함 이미지를 수집합니다. 이 장치에는 2 개의 전자 빔 기술 음극선 튜브 (CRT) 와 고정밀 디지털 카메라가 장착되어 있어 기능 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 기계는 색상 마스킹 (Color Masking), 패턴 인식 기술 (Pattern Recognition Technology) 등 결함 감지 프로세스를 자동화하기 위해 설계된 소프트웨어 도구 모음도 갖추고 있습니다. 클라 2131 (KLA 2131) 은 두 가지 이미지 획득 시스템을 결합하여 기존의 많은 웨이퍼 검사 시스템보다 훨씬 높은 해상도의 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한 SEM (Scanning Electron Microscope) 이미징, 자동 초점 기능 및 레이저 감지/해결 검사와 같은 여러 가지 테스트 모드가 있습니다. 이러한 기능은 뛰어난 감지 및 이미징 성능을 제공하여 결함을 신속하게 파악, 수정합니다. 이 도구는 또한 고정밀 이미징을위한 다양한 산업 등급 원격 센터 렌즈 (Telecentric Lense) 와 광학을 갖추고 있습니다. 이러 한 "렌즈 '들 은 특정 한 각도 와 해상도 로" 이미지' 를 얻도록 구성 될 수 있으며, 따라서 더 낮은 수준 에서 감지 하기 가 불가능 할 수 있는 "미니스쿨 '결함 을 탐지 할 수 있다. 또한, 에셋은 쉽게 검토하고 비교할 수 있도록 이미지를 검색 가능한 데이터베이스에 저장할 수 있습니다. TENCOR 2131 (TENCOR 2131) 은 반도체 제조업체를 위한 강력한 도구로서, 결함 감지 및 정류에서 뛰어난 성능과 정확성을 제공합니다. 이 모델은 또한 수동 검사 (manual inspection) 를 줄이고 시간을 절약하여 운영 비용을 절감합니다. 마지막으로, 2131 년 내에 이미지 획득 시스템, 소프트웨어 도구, 통신 렌즈의 조합으로 인해 가장 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나입니다.
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