판매용 중고 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B #9239973

ID: 9239973
Wafer inspection system.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B는 반도체 웨이퍼와 마스크를 검사하고 검증하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 완전 자동화, 고속, 고해상도 이미징 솔루션으로, 반도체 제작 공정에서 다양한 마스크, 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 이미지 획득 (advanced image acquisition) 및 처리 (processing) 기술을 사용하여 웨이퍼 및 마스크의 결함 및 기능을 감지합니다. IRVINE OPTICAL ULTRASTATION 3 B는 로우 프로파일, 인체 공학적으로 설계된 인클로저로 설계되었으며 6 "x6" 검사 영역을 갖추고 있습니다. 듀얼 헤드 (Dual-Head) 옵티컬 유닛을 사용하면 높은 배율과 낮은 배율 (Low-Magnization Level) 모두에서 결함 감지를 위한 최대 8 비트 동적 범위 (Dynamic Range) 로 고정밀 이미지를 제작할 수 있습니다. 초고속 3B (Ultrastation 3B) 는 또한 마스크 표면의 매우 작은 결함을 감지하고 식별하기위한 고급 이미징 알고리즘을 특징으로한다. 심지어 더 큰 근처 구조가 있더라도. 또한, 다양한 검사 작업의 결과를 자동으로 저장하고, 다양한 형식으로 저장할 수 있습니다. ULTRASTATION 3 B에는 웨이퍼와 마스크를 정확하게 검사하는 몇 가지 기능이 있습니다. 여기에는 자동 이미지 교정, 색상 인식 및 광학 검사가 포함됩니다. 자동 이미지 보정 (Automated Image calibration) 은 샘플과 현미경 사이의 회전, 수평 또는 수직 잘못 정렬을 보완하여 정확한 결함 감지를 보장합니다. 색상 인식 (Color Recognition) 프로세스는 색상 반전 또는 강조표시 (Highlighting) 를 사용하여 웨이퍼 및 마스크 서피스의 결함을 식별하고 강조표시하여 결함 인식을 단순화하고 가속화합니다. 마지막으로, 광학 검사에는 와퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 표면의 패턴에서 불규칙성을 식별하는 포괄적인 스캔 및 결함 감지 프로세스가 포함됩니다. IRVINE OPTICAL Ultrastation 3B는 직관적인 인터페이스를 사용하여 사용자 작업을 쉽고 효율적으로 수행합니다. 마우스 클릭 몇 번만으로 모든 설정과 결과를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 기계는 또한 종합적인 설계 및 프로세스 라이브러리 (process library) 를 제공하므로 사용자 정의 검사 매개변수와 시퀀스를 손쉽게 만들고 저장할 수 있습니다. 결론적으로, IRVINE OPTICAL ULTRASTATION 3 B는 고해상도 이미지를 자동으로 감지하고 매우 작은 결함을 식별할 수있는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 자산에는 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 를 정확하게 검사하고, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 작업을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있는 여러 기능이 장착되어 있습니다.
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