판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF 736 #9156768

AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF 736
ID: 9156768
Darkfield inspection system.
AMAT/APPLIED MATERIALS/ORBOT WF 736은 자동 광학 검사를 수행하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 대형 기판을 신속하게 검사할 수 있으며, 빠른 속도와 정확도를 제공합니다. 이 장치에는 12 인치 타입 -A 반도체 등급 돋보기가 장착되어 있어 크기가 55nm까지 빠르고 정확하게 결함을 식별 할 수 있습니다. 이 기계에는 고해상도 VLS (Multiple-wavength Variable Light Source) 가 장착되어 있어 검사된 요소에 대한 빠르고 철저한 검사 및 분석을 제공합니다. 자동 검사 프로세스는 네 가지 주요 단계로 수행됩니다. 첫 번째 단계 는 "마스크 '나" 웨이퍼' 를 검사실 에 넣는 것 이다. 두 번째 단계는 정렬 (alignment) 인데, 이 동안 마스크/웨이퍼 (mask/wafer) 가 정확하게 배치되어 검사 도구가 전체 샘플을 효과적으로 검사할 수 있습니다. 세 번째 단계는 샘플링 (sampling) 인데, 이 동안 에셋은 색상 코드 광학 이미징 모델을 사용하여 결함을 식별합니다. 네 번째이자 마지막 단계는 분석 단계 (analysis phase) 인데, 이 과정에서 계산된 데이터가 처리 및 분석됩니다. AMAT WF 736 에 설치된 소프트웨어는 다양하고, 사용하기 쉽고, 직관적인 인터페이스로, 사용자가 검사 프로세스를 관리하고 구성할 수 있습니다. 강력한 수치 분석 (Numerical Analysis) 및 동작 제어 (Motion Control) 알고리즘이 장착되어 있어 결함 유형과 위치를 정확하게 식별할 수 있습니다. 이는 정확하고 안정적인 결과를 보장합니다. 이 소프트웨어에는 통계적 분석, 보고 툴 (Reporting Tools) 이 포함되어 있으며, 이를 통해 결함을 계산하고 관리할 수 있습니다. 또한, 장비에는 결함 분류 소프트웨어와 3D 결함 매핑 (defect-classification) 모듈이 포함된 포괄적인 고장 분석 패키지가 장착되어 있어 결함을 분류, 공간적으로 분석할 수 있습니다. 이 분석 절차는 샘플의 결함 원인을 신속하게 파악하는 데 도움이 됩니다. ORBOT WF 736은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 훌륭한 도구이며, 전례없는 속도와 정확성을 제공합니다. 고급 기능과 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 완벽하고 정확한 검사를 위한 강력하고 다양한 툴을 구축할 수 있습니다.
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