판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9229271
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ID: 9229271
Mask aligner
Top side only
Power supply: CIC 1000
PC type: TYAN / FN 9160015
Relay interlock box
TSA microscope
TSA objectives: 5x / 0.15, 10x / 0.30, 20x / 0.40
COGNEX 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400 HP
Pre-aligner
Mask holder
Voltage: 230 V
Lamp: 350 Watts bulb
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 마이크로 전자 장치 제조 목적에 따라 얇은 기판을 정렬하기위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA150 (MICROTEC MA150) 은 모듈식 구조를 기반으로하며 렌즈 (lens), 카메라 (camera), 샘플 플레이트 (sample plate) 와 같은 광학을 수용하는 메인프레임으로 구성됩니다. 광학과 메커니즘은 샘플 플레이트 (sample plate) 와 웨이퍼 (wafer) 사이에서 움직이며 마스크에 의해 정확하게 정렬됩니다. KARL SUSS MA 150의 정밀 광학 시스템은 정확한 스테핑 모터에 의해 구동되며, X, Y, Z 축 및 -축은 정렬 중에 각각 샘플 척 (chuck) 과 마스크 척 (mask chuck) 을 정확하게 이동하는 데 사용됩니다. 독특한 마스크 투 웨이퍼 (mask-to-wafer) 정렬 기술은 패턴 오정을 최소화하기 위해 사용되며, 고급 설계는 정확한 정렬 정확도를 유지하는 데 도움이됩니다. 성능면에서 MICROTEC MA-150은 최대 15mm의 척-척 (chuck-to-chuck) 이동으로 최대 0.5 미크론 정확도의 고정밀 기능을 갖습니다. 최대 노출 면적 4.5mm x 6.0mm, X 및 Y 축에서 최대 24.5 ° 의 다양한 노출 기능을 갖추고 있습니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MA150은 웨이퍼의 크기와 복잡성에 따라 시간당 최대 8 개의 웨이퍼로 처리량을 제공합니다. 게다가, MA150 은 견고한 건축물이며, 정교한 인체 공학은 다양한 산업 분야에 적합합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 150의 모듈 식 구조는 유지 관리 및 수리가 용이하며, 회사는 고객에게 예비 부품 및 서비스를 제공합니다. 결론적으로, MA-150은 신뢰할 수 있고 다재다능한 마스크 정렬 기이며, 마이크로 일렉트로닉 장치 제조에 적합합니다. 이 제품은 고정밀도, 폭넓은 노출 기능, 처리량 (throughput) 을 제공하여 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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