판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9266635

EVG / EV GROUP 620
ID: 9266635
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2003
Bond aligner, 6" 2003 vintage.
EVG/EV GROUP 620 마스크 정렬기는 패턴을 다양한 기판으로 제작하는 데 사용되는 전용 정밀 도구입니다. 집적 회로, MEMS 및 마이크로시스템, 박막 헤드, 유연한 전자 제품, 다양한 어플리케이션의 일괄 제작에 이상적입니다. EVG 620은 탁월한 정확도와 처리율을 제공하는 완전 자동화 장비입니다. 정렬 능력은 고해상도 선형 측정 센서 (Linear Measurement Sensor) 와 결합된 고급 이미지 처리 (Advanced Image Processing) 기술을 기반으로 각 요소가 원하는 위치에 정확하게 배치되도록 합니다. 이 시스템에는 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스가 있어 설치, 운영 및 유지 보수가 간편합니다. 이 장치의 핵심은 자동 렌즈 최적화, 완전한 4 사분면 감지, 빠르고 정확한 결과를 위한 프로그래밍 가능한 오버 캔 패턴을 갖춘 고급 정렬 아키텍처입니다. 또한 온보드 진단 프로그램이 있는 통합 머신 컨트롤러에서 오류를 확인합니다. EV GROUP 620 도구에는 고유 한 기판 척 자산이 장착되어 있으며, 직경은 최대 8 "입니다. 원형 (circular) 및 직사각형 (rectangular) 웨이퍼를 모두 처리할 수 있으며, 동일한 웨이퍼에서 다양한 형상의 여러 다이를 처리 할 수도 있습니다. 정렬 정확도는 ± 2jm이며, 마스크 오버 캔 정확도는 ± 1m입니다. 또한, 620 마스크 정렬기는 '기울기 및 회전' 기능, MEMS 척 기울기 보상 및 음극 가스 제어와 같은 균일 성과 균일 한 증착을 보장하는 여러 기술을 갖추고 있습니다. 표준 기능에는 대기 압력 챔버 및 반복 가능한 소프트웨어 프로세스도 포함됩니다. 또한 CCD 해상도의 정확도가 높은 카메라 모델이 있습니다. 또한 EVG/EV GROUP 620 마스크 정렬기는 빠르고 신뢰할 수있는 석판화 장비를 제공하도록 설계되었습니다. 그 기능을 통해 우수한 결과를 가진 복잡한 제품을 제조 할 수 있습니다. 이 시스템은 자본 및 운영 비용이 적어 비용 효율적인 생산에 이상적입니다. 이 장치는 많은 양의 복잡한 부품과 소규모 프로토 타입 (prototyping) 작업에 이상적입니다.
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