판매용 중고 EVG / EV GROUP 620 #9250079

EVG/EV GROUP 620 Mask Aligner는 포토 마스크 및 기타 기판을 정렬하고 결합하는 데 사용되는 정밀 기기입니다. 정렬 정확도 1.5m로 서브 미크론 정밀도를 달성 할 수 있습니다. EVG 620 은 높은 처리량 생산과 단일 마스크/기판 생산에 적합한 완전 자동화 툴입니다. 효율적인 자동화 소프트웨어는 마스크와 기판 사이의 정확한 정렬 및 정확한 결합을 보장합니다. EV GROUP 620에는 2 개의 독립적 인 스테이지가 있으며, 하나는 선형 베어링이 내장 된 고정밀 스테핑 모터 스테이지이고, 두 번째는 저가속 단계 및 고속 비 동기화 벨트 장비로 움직이는 XY-theta 축 모터 스테이지. 이를 통해 시스템은 추가 외부 하드웨어를 사용하지 않고도 서브 미크론 정렬을 달성 할 수 있습니다. 통합 소프트웨어는 효율적이고 자동화되었으며, 모션 스테이지 (motion stage) 와 진공 이동 (vacuum movements) 을 모두 제어하기 위한 프로그래밍 가능한 인터페이스를 포함합니다. 높은 수준의 정밀도 및 정확성 외에도, 620은 심층적 인 프로세스 제어 장치를 갖추고 있습니다. 여기에는 렌즈 시스템 선택, 진공 시스템의 실시간 모니터링, 자동 위치 지정 도구, 자동 교정 (Automatic Calibration) 및 모델링 자산이 포함 된 비전 머신 (Vision Machine) 이 포함됩니다. 이 통합 모델은 시간이 지남에 따라 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. EVG/EV GROUP 620 Mask Aligner는 다양한 기판을 정렬하고 결합하는 데 적합한 선택입니다. 사용이 간편하고, 유지 보수가 용이하며, 시장에서 사용할 수 있는 최고 수준의 정확성과 반복 (repeatability) 기능을 제공합니다. 이것은 융합 기판의 프로토타입 작성 및 생산에 매우 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.