판매용 중고 CANON PLA 501 F #9265301

CANON PLA 501 F는 사용자가 반도체 웨이퍼에 패턴을 정확하고 빠르게 정렬하고 전달 할 수있는 마스크 정렬기입니다. 이것 은 자동화 된 반도체 "마스크 '무늬 발생기 이며, 여러 층 의 재료 로 구성 된" 패턴' 을 "웨이퍼 '로 옮길 때 정확 한 정렬 을 하도록 설계 되었다. CANON PLA-501F는 5 ~ 200mm 원형 웨이퍼 범위의 광범위한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 고해상도 광학 장비 (optical equipment) 를 갖추고 있어 정확하고 반복 가능한 오버레이드 패턴을 만들 수 있습니다. 이 기능은 수작업 (manual correction) 을 필요로 하지 않으므로 결국 시간과 비용을 모두 절감할 수 있습니다. 컴퓨터에는 디지털 포지셔닝 시스템 (digital positioning system) 이 장착되어 있어 여러 패턴에 대한 자동 등록뿐만 아니라 정밀한 정렬도 가능합니다. 이 장치 는 "웨이퍼 '위 의" 패턴' 의 정렬 과 교정 을 매우 정확 하게 하여 인간 의 개입 의 필요성 을 감소 시킨다. 이 기계는 또한 사용자가 동시에 여러 패턴을 생성 할 수있는 폭넓은 노출 영역 (exposing area) 을 특징으로합니다. 이렇게 하면 종종 전통적인 수동 마스크 정렬자와 관련된 리드 타임이 줄어듭니다. 이 기계는 최대 36mW의 UV 조명을 방출하는 고출력 레이저 다이오드 (High-Power Laser Diode) 를 장착하여 웨이퍼에 매우 정확하고 반복 가능한 패턴 노출을 제공합니다. 또한, PLA 501F 를 사용하면 일련의 노출 현상 (exposure) 을 프로그래밍할 수 있으며, 이를 자동으로 실행하여 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 웨이퍼에 패턴을 노출시킬 때 광학 도구에 대한 모든 진동 간섭을 제거하는 저진동 기계 (low-vibration machine). 게다가, 이 기계는 전체 노출 주기에 걸쳐 부드럽고 안정적인 작동을 보장하는 내장 (내장) 전원 공급 장치를 장착하고 있습니다. 전반적으로 CANON PLA 501F는 효율적이고, 안정적이며, 사용하기 쉬운 마스크 정렬기로, 패턴을 반도체 웨이퍼로 옮길 때 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. 첨단 기능과 설계를 통해 모든 반도체 생산 프로세스에 유용한 툴이 되었습니다.