판매용 중고 CANON MPA 600 Super #9286630

CANON MPA 600 Super는 정밀 패턴 및 정렬에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 최첨단 성능 (edge acuity) 을 갖춘 고정밀 장치를 생산할 수 있도록 설계된 완전 자동화된 차세대 플랫폼입니다. 캐논 MPA600SUPER (CANON MPA600SUPER) 는 두꺼운 패턴과 복잡한 형상을 사용해도 고해상도 이미징을 가능하게 하는 새로운 풀 필드 렌즈 프리 이미징 프로세스를 갖추고 있습니다. 이것은 새로운 고급 패턴 인식 (advanced pattern recognition) 기술과 결합되어 반복 가능한 정확도 1.5 유로의 매우 정확한 정렬 기능을 제공합니다. MPA-600SUPER는 또한 기판 손상을 제거하여 수율이 개선 된 고급 비 접촉 기판 처리 장비를 갖추고 있습니다. 다중 축 설계는 처리량과 유연성을 향상시켜 복잡한 패턴 (pattern) 과 형상 (geometry) 을 쉽게 접목시키고 정확하게 패턴화할 수 있도록 합니다. 시스템 도구 (System Tool) 스택을 사용하면 다양한 애플리케이션에 적합한 다양한 맞춤형 옵션을 사용할 수 있습니다. MPA-600 SUPER 의 최대 기판 크기는 600mmx500mm 이며, 251mm ~ 610mm 범위의 다양한 마스크 형식으로 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 통합 자동 초점이 포함 된 가변 압력 로딩 기능이 있습니다. 이를 통해 기판이 올바른 압력으로 로드되고 광학 (optic) 이 전체 프로세스 전체에서 일관되게 유지됩니다. 이 기계에는 정확한 마스크 정렬을위한 통합 마스크 단계도 있습니다. 이것은 크고 복잡한 패턴을 만드는 데 이상적입니다. MPA600SUPER에는 패턴화 및 정렬을 지원하기 위해 모든 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 고급 PC 인터페이스와 자동 및 수동 패턴 기능을 모두 제공합니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어를 사용하면 쉽고 빠르게 공구를 작동할 수 있습니다. 또한, 캐논 (CANON) 은 각 고객의 구체적인 요구에 맞게 자산을 사용자 정의할 수 있는 다양한 추가 도구를 제공합니다. 전반적으로 CANON MPA-600 SUPER는 고해상도 이미징 기능, 고급 비접촉 기판 처리 모델 및 도구 스택, 사용자 친화적 소프트웨어 (User-Friendly Software) 로 인해 모든 정밀 패턴화 및 정렬 애플리케이션의 요구를 충족하도록 맞춤형으로 구성할 수 있는 강력한 마스크 정렬자입니다.