판매용 중고 CANON MPA 500 Fab #9291905

ID: 9291905
Mask aligners Does not include: Illuminators Control boxes Power supplies.
캐논 MPA 500 Fab (CANON MPA 500 Fab) 은 칩 제조 및 나노 기술 산업에 사용되는 사진 분석 프로세스에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. CANON 원래 확장 가능한 멀티 프로젝션 Aligner 기술을 기반으로 CANON MPA 500FAB의 해상도는 1 미크론이며 칩 크기를 최대 6 인치 웨이퍼로 덮을 수 있습니다. 화질 확장을 줄여주는 고정밀도 선형 가이드 시스템 (Linear Guide System) 과 진공 센터 정렬 기술 (Vacuum Center Alignment Technology) 을 통해 사용자가 정확도를 높일 수 있도록 새롭게 설계된 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 이 장치는 X 축과 Y 축 모두에 대해 0.1-0.2 미크론 범위에서 2D 정렬 정확도를 달성 할 수있는 장치 (장치) 를 통해 뛰어난 정확도를 자랑합니다. MPA-500FAB (MPA-500FAB) 는 여러 개의 광원을 가진 UV 노출 기술을 사용하여 칩 서피스에 패턴을 투영합니다. 이 기술은 원하는 대로 선 너비와 세부 (detail) 를 생성하는 데 사용됩니다. 또한 최적화된 투사 장치 (Optimized Projection Unit) 를 통해 정렬 정확도를 높이고 자동 초점 용량 (Auto-Focus Capacity) 및 레이저 정렬 지원을 통해 이미지를 올바르게 정렬하는 데 걸리는 시간을 줄입니다. 또한, 이 장치에는 강력한 모터 드라이브 머신 (motor drive machine) 이 포함되어 나노 테크 생산 공정에서 더욱 정확하고 반복 할 수 있습니다. 이 장치는 정렬 프로세스의 실시간 온라인 모니터링 (Real-Time Online Monitoring), 인쇄 및 마스킹 프로세스의 높은 정확성을 허용하는 노출 제어 (Exposure Control) 기능과 같은 기능으로 더욱 향상되었습니다. 또한 용도 (Adaptable) 광원 출력 (Light Source Output) 을 통해 원하는 제품 제조 공정 (Manufacturing Process) 과의 처리량 및 호환성을 높일 수 있습니다. 캐논 MPA-500FAB (CANON MPA-500 FAB) 는 광범위한 고밀도 나노 기술 생산 프로세스의 가장 높은 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 고정밀도 (high-precision) 정렬 정확도, 첨단 기술 범위, 적응력 (adaptable output) 을 갖춘 이 제품은 최고 수준의 정확도와 출력이 필요한 대량 생산 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.
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