판매용 중고 CANON MPA 500 Fab #293652734

CANON MPA 500 Fab
ID: 293652734
웨이퍼 크기: 5"
Mask aligners, 5".
캐논 MPA 500 Fab (CANON MPA 500 Fab) 은 반도체 업계에서 고품질 장치를 생산할 수 있도록 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 마스크 정렬기는 5 인치 시야와 5 축 모터 드라이브 장비를 사용하여 포토 마스크 (photomask) 에서 웨이퍼 (wafer) 로 패턴을 정확하고 생산성이 높게 전송합니다. CANON MPA 500FAB는 간단한 리소그래피에서 고급 습식 어플리케이션에 이르기까지 다양한 프로세스를 실행할 수 있습니다. 시제품 및 생산 운영 고객 모두에게 서비스를 제공할 수 있습니다. 200mm ~ 4 인치 (직경) 이상의 다양한 기판 크기를 제공하여 메모리, 논리 등의 고품질 장치를 정렬할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다방향 빔을 사용하여 마스크 필드 전체에서 노출 강도를 확인합니다. MPA-500FAB 는 또한 독점적 인 레이저 유도 정렬 시스템을 갖추고 있어 마스크 및 웨이퍼를 자동으로 정렬할 수 있습니다. 이 장치는 0.3 미크론 해상도와 1 밀리라디안의 정확도를 제공하여 고 수율 장치를 생성 할 수 있습니다. 에미 터 소스 (Emitter Source) 는 노출 설정의 변경에도 불구하고 웨이퍼 전체에 안정적이고 균일 한 패턴을 생성하도록 고도로 최적화되었습니다. 캐논 MPA-500FAB (CANON MPA-500 FAB) 는 엄격한 환경 요구 사항을 충족하며, 장치 유형에 따라 습식 또는 청소실 제조에 사용될 수 있습니다. 또한 센서 지원 안전 덮개, 도어 잠금 장치 및 사용자/교육 인터페이스와 같은 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한 정교한 자동 자가 진단 장치 (Automatic Self Diagnostics Machine) 를 사용하여 유지 보수가 훨씬 쉬워집니다. 즉, 운영 중단을 일으키기 전에 운영자에게 잠재적인 문제를 경고할 수 있습니다. 결론적으로, CANON MPA 500-FAB 는 매우 높은 정확성과 생산성을 제공하도록 설계되었으며, 프로토 타입 (Prototyping) 및 프로덕션 고객 모두에게 광범위한 기능을 제공합니다. 클린 룸 (cleanroom), 습식 (wet-etch) 생산 등 다양한 환경 요구 사항을 충족하기 위해 제작되었으며, 자체 진단 도구 (self-diagnostics tool) 및 레이저 유도 정렬 자산 (laser-guided alignment asset) 과 같은 다양한 안전 기능을 통해 생산 과정에서 얻을 수 있습니다.
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