판매용 중고 CANON MPA 3000W #9117370

ID: 9117370
System Vacuum: -500 mm Hg Cooling water: 1.2 ~ 5.0 kg / cm² Flow of 50.0 l/min (at 34°) Flow of 16.0 l/min (at 25°C) Power supply: 200 V, 39.4 kVA, 50 Hz.
CANON MPA 3000W는 모든 유형의 마스크 정렬을 위해 설계된 완전 자동화된 정밀 마스크 정렬기입니다. 캐논 (CANON) 이 개발 한이 제품은 정밀 도구 및 정밀 웨이퍼 회로의 검사, 수리 정렬 등 다양한 정밀 선반 정렬 어플리케이션에 사용하도록 설계되었습니다. CANON MPA-3000 W는 8 인치 LCD 터치 패널 디스플레이와 98 포인트 7 축 로봇 장착 카메라 및 마스크 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 정확한 마스크 정렬을 위해 16 메가 픽셀 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. 또한 조정이 가능한 조명을 위해 LED (Light Emitting Diode) 를 마운트하고, 마스크 정렬 시 정렬 범위, 노출 시간, 밝기 및 기타 설정을 조정할 수 있습니다. 또한 정렬 매개 변수를 세밀하게 조정하기 위한 조정 가능한 등록 표시가 있습니다. MPA 3000W는 최소 위치 오류 및 단계 크기 (0.75m) 로 설계되어 마스크 정렬이 정확합니다. 또한 디바이스의 단일 지점 선형 스테핑 시스템, 내장 백래시 및 카운터 (counter) 측정으로 포지셔닝 헤드 백래시가 줄어듭니다. MPA-3000 W는 또한 정밀한 청소를위한 에어 제트 노즐 (air jet nozzle) 과 정렬 과정에서 뛰어난 대비를 제공합니다. 캐논 MPA 3000W (CANON MPA 3000W) 는 다양한 유형의 마스크를 빠르고 정확하게 처리 할 수있는 다양한 방법을 제공하는 컴팩트하고 인체 공학적 장치입니다. 이 장치는 다양한 기판 크기를 수용 할 수 있으며 최대 마스크 크기 (500x500mm) 를 제공합니다. 또한 5 초/마스크의 인상적인 사이클 시간과 최대 8 인치의 기판 적재 영역을 자랑합니다. 또한 CANON MPA-3000 W 를 다른 장비와 통합하여 처리량을 높이기 위해 자동화된 작업을 수행할 수 있습니다. 최대 정확성과 안정성을 보장하기 위해 MPA 3000W에는 1GHz Pentium-Class 프로세서가 탑재되어 있으며, 고급 소프트웨어 기능을 통해 사용자가 신속하게 마스크 정렬 매개변수를 최적화하고 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 레시피 펜, 조이스틱 컨트롤, 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 를 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 쉽게 설치하고 사용할 수 있습니다. MPA-3000 W 는 다양한 마스크 패턴 (mask pattern) 과 기판 (substrate) 에 대한 정밀 정렬을 제공하도록 설계된, 고급적이고 신뢰할 수 있는 마스크 정렬기입니다. 모든 정밀 마스크 정렬 응용 프로그램에 대해 완벽한 선택입니다.
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