판매용 중고 FEI / MICRION 9100 #293645928

제조사
FEI / MICRION
모델
9100
ID: 293645928
빈티지: 1996
Focused Ion Beam (FIB) system 1996 vintage.
FEI/MICRION 9100은 재료 과학 연구에서 샘플의 정밀 머시닝을 위해 설계된 고급 이온 밀링 장비입니다. 폴리머에서 폴리실리콘 (polysilicon) 에 이르는 다양한 재료의 고해상도 밀링을 제공하며 알루미나 (alumina), 사파이어 (sapphire), 쿼츠 (quartz) 와 같은 유전체를 처리 할 수도 있습니다. 이온 밀링 시스템은 가변 침식 속도와 더 깊은 밀링 기능을 위해 3 가지 다른 가스 소스 (Argon, Xenon 및 Krypton) 와 함께 사용할 수 있습니다. FEI 9100은 이온 소스, 이온 건, 빔 포커스 및 제어 전자 장치를 갖춘 주요 기본 장치로 구성됩니다. 그것 은 "이온 '총 에 RF" 에너지' 를 공급 하는 4kW 주파수 의 전원 공급 장치 로 작동 하여 "이온 '을 높은" 에너지' 수준 으로 가속 시킬 수 있다. 그런 다음 이온 빔에 초점을 맞추고 비스듬한 각도로 샘플 표면을 향합니다. 이 비스듬한 각도 방법을 사용하면 표면 손상을 최소화할 수 있습니다. MICRION 9100을 사용하면 전압, 전류, 가스 압력, 빔 압력 등 다양한 밀링 매개변수를 설정할 수 있습니다. 또한 활성 조준 및 자석 시스템, 고급 이미지 인식 기능, SEM, FIB, STM 등 다양한 이미징 모드를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 기계가 원하는 영역을 정확하게 대상으로 지정하고 밀링할 수 있습니다. 9100은 기질의 정밀 나노 패턴화에 사용될 수도 있습니다. 고해상도 나노 패턴 (Nanopattern) 발전기를 사용하여 50 nm 이하의 치수가있는 선 및 기타 모양을 제조 할 수 있습니다. 이 도구는 정밀 CAD 제어 패턴화를 위해 CAD 에셋에 직접 연결할 수도 있습니다. FEI/MICRION 9100은 재료 과학 연구에 이상적인 선택입니다. 정밀한 밀링 (milling) 및 나노 (nanopatterning) 기능을 제공하여 복잡하고 까다로운 작업을 수행할 수 있습니다. 고급 제어 모델 (Advanced Control model) 은 밀링 매개변수를 정확하게 제어하여 공정 유발 손상을 제거하는 데 도움이됩니다. 다용도 장비로, 정확도가 높은 기능을 생산할 수 있습니다.
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