판매용 중고 4WAVE IBD 1200-RF #293681881

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이온 밀링
제조사
4WAVE
모델
IBD 1200-RF
ID: 293681881
웨이퍼 크기: 8"
Ion Beam Deposition (IBD) system, 8" Cassette to cassette (2) Vacuum cassette elevators Robot transfer module Substrate aligner Single IBD Process module RF Ion source, 12 cm Plasma bridge neutralizer Substrate stage with stage: 200 mm Spin rotation 2-Target assemblies Water cooled with angle adjustability, 16" CTI 400 Cryopump, 16" Control system automation Integrated MKS RGA for close loop pressure control Integrated Quartz crystal rate monitor Enhanced crystal life option.
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