판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-80 #9412142
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ID: 9412142
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1986
Ion implanter, 6"
(4) Sources
Ion beam energy: 20~80keV
Dose range: 5.0E12 - 5.0E15 atoms / cm²
Minimum beam current: 10µA
Wafer temperature: 100°C
X-Ray emission: ≤0.6μ Sievert / hr (60μ rem / hr)
Charge control technology: Secondary Electron Flood (SEF)
Mechanical throughput:
Batch size: 10 wafers
Throughput: 100 WPH
Maximum implant time: 120 sec
Dose control:
Bare Si Wafers: ≤3.0%
Photoresist wafers: ≤4.0%
Beam current for 80kev:
Energy(keV) / B11(mA) / AS75(mA) / P31(mA)
20 / 0.5 / 0.2 / 0.3
40 / 1 / 1.5 / 1
80 / 2 / 3 / 2.5
Vacuum performance:
Subsystem / Pump / Base pressure (Torr)
Source / Diffusion pump / ≤5.0E-06
Beamline / Resolving housing / Cryo Torr8 / ≤5.0E-06
Resolving housing / Process chamber / Cryo Torr8 / ≤5.0E-06
1986 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-80은 반도체 산업에서 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 부품을 구성하는 데 사용되는 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이를 통해 재료의 표면 및 내부 마이크로 구조 (micro-structure) 를 정확하게 조정하여 산업 공정에서 서브 미크론 (sub-micron) 기능을 만들 수 있습니다. 이 장비는 제조에서 매우 안정적이고, 저렴하며, 신뢰할 수 있는 재료 성능 향상을 원하는 고객에게 적합합니다. AXCELIS NV 10-80은 고전압 플라즈마 챔버와 프로그래밍 가능한 멀티 와이어 어레이를 사용하여 작동합니다. 플라즈마 압력 및 유속 (flasma pressure and flow rate) 은 내장 어레이를 사용하여 정확하게 제어되며 필요한 이온 종의 농도는 현장 가우스 (Gaussian) 함정 장비에 의해 모니터링됩니다. 정밀 하게 제어 된 "빔 '의 출력" 에너지' 는 표적 표면 에 분배 되어 착상 과정 을 광범위 하게 제어 할 수 있다. EATON NOVA NV 1080의 고급 모니터링 시스템 (Advanced Monitoration System of EATON NOVA NV 1080) 을 사용하면 복잡한 컴포넌트를 처리할 때에도 일관된 임플란테이션 품질을 유지할 수 있습니다. 이 장치의 실시간 진단 기능은 빔 (beam) 매개변수 및 관련 결함의 세부 특성을 제공합니다. 이를 통해 비 적합성 감지 (non-comformance detection) 및 프로세스 수정 및 특정 재료의 대상 임플란테이션이 거의 즉시 실패할 수 있습니다. 온쇼어 오버랩 (Onshore Overlap) 모니터링은 동일한 평면에서 2 개의 빔 사이트가 겹치는 것을 동시에 모니터링할 수 있으며, 이는 빠른 진단 및 동적으로 수정 된 오버랩으로 연산자를 지원합니다. 이 기계는 유연성과 인체 공학을 고려하여 설계되었으며 표준 운영 콘솔 (Operating Console), 3 개의 개별 운영 테이블 (Operating Table) 및 모듈식 포지셔닝 시스템 (Modular Positioning Machine) 을 갖추고 있습니다. 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 작업을 자동화할 수 있는 PC 기반 제어 (Control Tool) 가 장착되어 있습니다. 다른 기능으로는 정밀 Lithium 클러스터 이온 소스, 프로그래밍 가능한 이온 유형, 이온 빔 전류 및 용량 범위, 사용하기 쉬운 데이터 입력 및 분석 자산이 있습니다. 최대 안전 및 편의를 위해 EATON NOVA NV 10-80은 CE 및 UL 안전 표준 인증을 받았습니다. 공사 및 운용은 매우 안정적이고 안전하며, 정밀 처리에 이상적인 선택입니다. 모든 애플리케이션에서 프로세스 성능을 극대화하는 이 시스템은 고급 제어 모델 (Advanced Control Model) 을 통해 신뢰할 수 있는 결과를 제공하므로 고품질 (High-Quality) 를 일관되게 구현할 수 있습니다.
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