판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD 100 #9103072

EATON NOVA / AXCELIS GSD 100
ID: 9103072
웨이퍼 크기: 8"
Gyro disk, 8".
EATON NOVA/AXCELIS GSD 100은 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 제품은 다양한 고급 기능을 통합하고, 높은 수준의 정확성, 신뢰성, 유연성을 제공하는 고성능 장비입니다. AXCELIS GSD 100은 단일 단계 플랫폼, 다중 계층 설계 및 이온 소스 시스템을 기반으로합니다. 이 장치 는 여러 종류 의 "이온 '들 을 수용 할 수 있도록 설계 되었는데, 그" 이온' 은 광범위 한 소스 "에너지 '와" 에너지' 를 가지고 있다. 그것은 고전압 원 (high voltage source) 과 증강 된 라그랑지안 자기장 (lagrangian magnetic field homogeneous) 과 독립적으로 제어 된 자기장을 가진 빔 균질화 기계를 사용합니다. 이온 소스 (ion source) 및 가속 도구 (accelerating tool) 는 더 높은 빔 전류를 위해 하이브리드 구성으로 개별적으로 사용되거나 결합 될 수 있습니다. 모니터링 자산은 GSD Main Board, Vacuum Control Unit, Beam Monitor, Voltmeters/Multimeters 및 소프트웨어 패키지를 포함한 다양한 통합 구성 요소로 구성됩니다. GSD 메인 보드 (GSD Main Board) 는 일련의 밸브를 사용하여 가스 구성 (gas compositional) 을 제어하면서 사용자 사양에 대한 빔 및 환경 매개변수를 제어합니다. 진공 제어 장치 (Vacuum Control Unit) 는 적절한 챔버 압력 및 크로스 토크 제어를 유지 관리할 수 있습니다. 빔 모니터 (Beam Monitor) 는 대상 경계 강도 및 전류, 회전 각도 및 에너지 수준을 모니터링합니다. 마지막으로, 볼트미터/멀티미터 (Voltmeters/Multimeters) 는 이식 과정에서 표적의 온도, 압력 및 전류의 측정을 담당합니다. 소프트웨어 패키지는 GSDMainBoard, Vacuum Control Unit 및 Beam Monitor 및 다른 시스템과의 인터페이싱에 사용됩니다. 이 소프트웨어에는 GUI/CLI 인터페이스뿐만 아니라, 매개변수 구성이 통합된 전문가 모델이 포함되어 있습니다. EATON NOVA GSD 100에는 비즈니스 자동화에 사용할 수있는 맞춤형 PLC (programmable logic controller) 도 포함되어 있습니다. 고급 기능을 통해 GSD 100은 다양한 어플리케이션에 사용할 수 있습니다. 통신, 자동차, 항공 우주, 군사 등 다양한 산업에서 반도체에 도펀트 원자를 이식하는 데 사용됩니다. 이 장비는 박막 트랜지스터 (TFT) 제조 및 실리콘 웨이퍼 에칭 및 청소에도 사용됩니다. EATON NOVA/AXCELIS GSD 100은 이식 프로세스의 제어 및 모니터링에서 높은 정확성을 제공하는 신뢰할 수있는 시스템입니다. 다양한 종류의 프로세스, 향상된 안전 (Safety) 기능, 맞춤형 자동화 프로세스를 위한 프로그래밍 가능한 플랫폼 등을 위한 높은 수준의 유연성을 제공합니다.
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