판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS 8250 #9187098
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ID: 9187098
웨이퍼 크기: 6"
Load station, 6"
Interface module between implanter and ASYST loader.
EATON NOVA/AXCELIS 8250은 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 제품은 최고의 수준의 프로세스 일관성을 제공하도록 설계되었으며, 우수한 순 (net) 디바이스 성능과 생산량을 제공합니다. AXCELIS 8250은 3 축 스캔 메커니즘과 고급 컴퓨터 제어 빔 전압 프로파일 생성기를 결합하여 N 타입 및 P 타입 도펀트를 모두 이식하는 데 탁월한 정확성을 제공합니다. EATON NOVA 8250의 이온 소스는 최대 1 억 5 천만 개의 이온 빔 전류를 전달할 수 있으며, 빔 에너지는 10 ~ 700 keV입니다. 빔 전류 (Beam Current), 빔 에너지 (Beam Energy) 및 스캔 영역 (Scan Area) 에 대해 사용자가 구성할 수 있는 설정을 사용하면 하드웨어가 필요하지 않은 고도로 맞춤형 임플란트가 가능합니다. 이 첨단 기술을 통해 8250은 새로운 웨이퍼와 기존 웨이퍼를 모두 도핑하는 데 적합합니다. 통합 프로세스 모니터 장비를 사용하면 용량, 빔 각도, 기울기, 총 전류, 전압, 프로파일 이동, 도펀트 수준 등 이식 된 웨이퍼 특성을 지속적으로 분석 할 수 있습니다. 이러한 고급 측정은 EATON NOVA/AXCELIS 8250에 매우 정확한 도펀트 프로파일을 갖춘 임플란트 (Implant) 및 우수한 장치를 생산할 수있는 매우 특정한 특성을 제공하는 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 이식 과정에서 최적의 전체 웨이퍼 온도를 확인하는 데 도움이 되는 독특한 열 이미징 센서 (thermal imaging sensor) 기술도 있습니다. AXCELIS 8250 의 고급 컴퓨터 컨트롤러 장치를 사용하면 임플랜터를 빠르고 일관되게 설정하고 작동할 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 간단한 작업을 수행할 수 있으며, 사용자 정의 가능한 매개변수를 나중에 사용할 수 있도록 시스템에 쉽게 입력, 저장할 수 있습니다. 편리한 원격 유지 관리 기능과 뛰어난 사후 진단 기능을 통해 시간 경과에 따라 간편하고 손쉽게 유지 관리할 수 있습니다 (영문). EATON NOVA 8250은 우수한 정밀도 및 균질 장치 임플란트를 제공하도록 설계된 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 다용도, 사용자 친화적 인 자산은 제어 이온 빔 전류, 빔 에너지, 스캔 영역을 빠르고 정확하게 전달하여 최적의 도펀트 레벨 (dopant level) 및 장치 성능을 제공합니다. 8250은 강력한 모니터 모델을 통해 뛰어난 정확도와 수율을 지닌 임플란트를 일관되게 제공합니다.
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