판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9263379
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ID: 9263379
빈티지: 2010
E-Gun evaporators
System frame with clad panels
Mounting frames
Rack cabinet for control units, 19"
Mains and safety elements with emergency shut-down
Deposition chamber
Single walled: 304L Stainless steel and electro-polished
Semi rectangular pipes dimension for cooling: 630 x 850 mm
Front opening / closing door
With automatic electro-magnetic lock / unlock
Viewport diameter front door, 4.0"
Optically reflector
Shielding parts
Baseplate:
6 Holes diameter, 1"
High voltage
Sweep signal
Crucible index drive
E-gun body cooling
Shutter drive feed through
Sidewall:
Rectangular flange for HV valve: 16" x 11"
KF 40 Flange for heating power feed through
(3) KF 25 Flanges for thermocouple feed through and ion gauge head
(3) KF 16 Flanges for venting valve and pirani gauge head
35 CF Flange
Top plate:
Fitting gas inlet feedthrough: 1 Hole 1" dia
Rotation drive and quartz sensor feedthroughs: 1 Hole 5" dia
Deposition chamber pumping system and vacuum measurement:
CTI-CRYOGENICS Torr-10 Pump, 10"
CTI-CRYOGENICS 9600 Liquid helium cryogenics water-cooled compressor
Auto-regeneration function for cryo pump
GP 307 Vacuum gauge controller: ATM ~5.0E-10 torr
GP 274 Ion gauge head: 1.0E-02 torr ~1.0E-09 torr
(2) GP 275 Pirani heads with tungsten filament: ATM ~5.0E-04 torr
Accessories for substrate stage:
Substrate carrier rotary driver
Substrate carriers
Substrate heating
Accessories of process sources:
JOEL JST-3F Electron beam evaporator
Type: JEBG-203UA
Source with deflection: 270°
Uniform energy distribution
High speed scanning
Water cooling feed through
X and Y Sweep signal feed through
Single crucible 20 cc
Remote control
Shutter drive
Gas inlet systems
Process controller / Layer thickness measurement:
MAXTEK MDC-360C Layer thickness
Rate and process control unit
Process control: RS-232 Interface
Multi-film and multi-process storage: Up to (99) materials
2010 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600I 증발기는 최고의 효율성과 성능을 위해 설계된 고급 기술 산업 증발기입니다. 이 증발기는 열 냉각, 증류, 응축 (condensation) 과 같은 효율적인 증발이 필요한 다양한 산업 응용 분야를 위해 설계되었습니다. AST Peva-600I 증발기는 고압 폐쇄 루프 시스템 (closed-loop system) 에서 작동하며, 이 시스템은 가열 및 확장 증기를 사용하여 작동 유체를 증발시키고 응축시킵니다. 이를 통해 에너지 소비를 크게 줄여주면서 효율성과 제품의 품질을 극대화할 수 있습니다. 고압 기능으로 인해 다른 증발기보다 훨씬 높은 압력을 가할 수 있습니다. ADVANCED UNIT TECHNOLOGY PEVA 600I 증발기 (Evaporator) 는 견고하고 스테인리스 (Stainless) 방식의 프레임으로 구성되며 고객의 요구 사항에 따라 설계 가능한 다양한 맞춤형 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 높은 품질의 부식 방지, 밀봉기가 포함되어 있어 안정적인 성능을 보장합니다. Peva-600I 증발기의 최고 효율성을 보장하기 위해, 많은 혁신적인 기능이 포함되었습니다. 증발기 (Evaporator) 에는 고품질의 저압 조절 밸브가 장착되어 있으며, 이 밸브는 최대 효율성을 위해 공급 액체의 흐름을 최적화하도록 설계되었습니다. 또한 조정 가능한 압력 게이지 (Adjustable Pressure Gauge) 를 포함하여 압력을 정확하게 조정하여 속도 및 성능을 최적화할 수 있습니다. 쉽게 작동하는 AST PEVA 600I 증발기는 또한 고효율 열 교환기 및 내장 제어 에셋을 사용하여 쉽게 조정 할 수있는 고효율 응축 도구를 포함합니다. 조절 가능한 판 열 교환기를 사용하여 최대 온도에서 제품을 생성 할 수 있습니다. PEVA 600I 증발기는 유지 보수 요구 사항이 최소화되어 손쉽게 작동하고 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 유지 보수 작업은 부품/부품의 정기적 클리닝, 윤활화, 마모된 부품의 주기적 교체 등으로 제한됩니다. AST/ADVANCED Model TECHNOLOGY PEVA 600I 증발기는 유체의 효율적인 증발 및 응축이 필요한 고성능 산업 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 실험실, 식품 가공, 증류 및 냉각 용도에 이상적입니다. 탁월한 설계 구성과 고급 기능을 갖춘 이 산업용 증발기 (industrial evaporator) 는 탁월한 성능과 신뢰성을 제공하며, 산업용 어플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.
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