판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9073292

AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I
ID: 9073292
빈티지: 2009
ITO Evaporator Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield Material usage: > 20% Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm) Full automatic, intelligent PC control system Specifications: Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs / (2"- 6") for Planetary Domes E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option) Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option) Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option) Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃ Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A, Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2 CDA Requirement: 5 kgw/cm2 Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20 ℃, 30 l/min 2009 vintage.
AST/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600I는 심각한 산업 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 증발기입니다. 이 제품은 신속하고, 효율성이 높은 운영, 탁월한 성능, 긴 서비스 수명을 제공하는 혁신적인 설계를 제공합니다. 증발기의 최적화 된 디자인은 특허 된 내부 핀 시스템, 중량 콘덴서, 견고한 외부 껍질을 기반으로합니다. 내부 핀 유닛은 AST 페바 -600I 증발기 (AST Peva-600I evaporator) 의 주요 기능으로, 시장에서 다른 증발기를 초과하는 성능을 신속하게 제공 할 수 있습니다. 절연 증기 덕트 (insulated vapor duct) 와 고효율 냉각판과 같은 혁신적인 엔지니어링 기술을 활용하여 증발기는 응축을 극대화하고 에너지 소비를 최소화 할 수 있습니다. 또한, 내부 핀 머신은 표면 면적 증가와 공기 저항을 최소화하여 냉각 속도가 750 ° F, 열 전달 효율이 높습니다. 핀 (Fin) 도구는 견고성 강화 (Rugged) 작동 조건의 내구성을 극대화하기 위해 강력한 공사를 갖추고 있습니다. 고급 자산 기술 PEVA 600I (ADVANCED Asset TECHNOLOGY PEVA 600I) 에는 강력한 응축기가 장착되어 있어 높은 온도에서 작동 할 수 있습니다. 콘덴서는 부식 내성 스테인레스 스틸 (stainless steel) 과 연속 핀 (continuous-fin) 구조를 사용하여 오래 지속되고 뛰어난 효율성을 보장하도록 설계되었습니다. 견고성 (rugged) 구조는 응축기가 높은 온도와 확장 된 수명 주기 성능을 처리 할 수 있도록 보장합니다. ADVANCED Model TECHNOLOGY Peva-600I 증발기의 외부 껍질은 내구성이 뛰어나고 탄력적인 재료로 구성되어 있으며, 극한의 조건에서 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 이 껍질은 먼지, 수분, 증기가 증발기의 성능에 영향을 미치지 않도록 설계되었으며, 긴 운영 수명 동안 최적의 성능을 유지하는 데 도움이됩니다. 최고 효율성과 안전을 보장하기 위해 ADVANCED Equipment TECHNOLOGY/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY AST/ADVANCED System TECHNOLOGY PEVA 600I 증발기는 엄격한 업계 표준을 충족합니다. 최첨단 안전 기능 및 컨트롤 (예: 안전 스위치, 온도 안전 밸브, 압력 완화 밸브) 을 사전 장착하여 과냉방 및/또는 과열 가능성을 최소화합니다. 또한 증발기 (evaporator) 는 다양한 제어 및 모니터링 시스템으로 제작되어 온도, 압력, 기타 작동 상태를 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. AST/ADVANCED UNIT/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY Peva-600I 증발기는 심각한 산업 응용 프로그램에서 효율적이고 안정적인 성능을 제공하는 고급적이고 혁신적인 증발기입니다. 안전기준에 대한 최적화된 설계와 엄격한 준수 (Strict Adherence) 는 시장에서 최고의 증발기 (Evaporator) 중 하나입니다. 고효율 운영, 뛰어난 성능, 긴 서비스 수명으로 PEVA 600I 는 사용자가 냉각 시스템을 최대한 활용할 수 있게 해 줍니다 (영문).
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