판매용 중고 ULVAC NE-950EXk #9359650

ULVAC NE-950EXk는 고품질 마이크로 전자 부품 생산을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 최첨단 기술을 사용하여 오염을 최소화하면서 일관되게 정확하고 반복 가능한 결과를 만듭니다. 이 시스템은 소스와 챔버 구성 요소가 통합된 올인원 (All-in-One) 에처/애셔 (Etcher/Asher) 로, 모듈식이며 손쉬운 확장성과 유연성을 위해 설계되었습니다. 이 장치의 소스 모듈은 가스 캐비닛 및 샤워 장치, RF 생성기, 핫 필라멘트 어셈블리 (hot filament assembly) 를 포함하는 가스 분배 머신으로 구성됩니다. "가스 '" 캐비닛' 과 "샤워 '는 공정" 가스' 에 정확 하고 재현 할 수 있는 양 의 공정 "가스 '를 공급 하여 공정 의 성능 을 정확 히 제어 한다. RF 생성기는 FCCVD, F-CVD 및 도금 에치 프로세스의 전원을 제공하며, 여러 레이어의 제어 증기 증착 또는 정확하게 조정 된 에칭을 제공하며, RS 생성기는 반복 성과 성능을 보장합니다. HFE (Hot Filament Assembly) 모듈은 빠른 열 프로세스 기술을 위해 설계되었으며, 열 산화, 어닐링 및 기타 프로세스에 비활성 주변을 제공합니다. NE-950EXk 의 프로세스 챔버 모듈은 탁월한 프로세스 균일성, 반복성, 견고성을 제공하도록 설계되었습니다. 냉각수 배기 자산을 갖춘 통합 습식 벤치 도구입니다. 이 챔버는 초고밀도 에치, 스퍼터 에치, 플라즈마 anneal 및 RIE etch/etch를 포함한 광범위한 프로세스 응용 프로그램과 작동하도록 설계되었습니다. 이 챔버는 또한 필름 증착, 필름 청소, 스퍼터링과 같은 다목적 응용 분야를 위해 설계되었습니다. etch 및 asher 프로세스의 매우 높은 정밀도, 반복성, 뛰어난 성능으로 인해 ULVAC NE-950EXK는 다양한 microelectronic 구성 요소 및 생산 프로세스에 이상적인 프로세스 솔루션입니다. ULVAC 는 신뢰성이 높은 모델 설계 외에도 NE-950EXk 에 대한 다양한 지원 서비스를 제공합니다. 이러한 서비스는 완벽한 시작 지원, 설치 지침, 컨설팅 및 문제 해결 서비스, 프로세스 개발 및 최적화를 제공합니다. 이러한 서비스를 통해 ULVAC NE-950EXk 는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 시장에서 최고 수준의 성능을 제공하도록 설계되었습니다.