판매용 중고 ULVAC NE 550 #9236725

ULVAC NE 550은 최대 450mm 크기의 고정밀 기판의 평면 처리를 위해 설계된 플라즈마 에처/애셔 (plasma etcher/asher) 입니다. 다양한 재료 표면을 에칭하기 위한 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적이며, 다용도 도구입니다. NE 550에는 강력한 에치 스테이션 (etch station) 과 회사 바닥 공간 절약 디자인이 장착되어 있습니다. 이 기계 는 "플라즈마 '처리 를 위한 통합 된 MF" 안테나' 장비 를 갖추고 있으며, 보다 균일 한 "에치 '속도 의 기판 과 조절 가능 한" 안테나' 를 사용 하여 "챔버 '의 수직· 수평 조절 을 할 수 있다. ULVAC NE 550 의 사용자 정의 소프트웨어 패키지를 통해 사용자는 다수의 프로세스 (process) 및 재료에 대한 프로세스 매개변수를 프로그래밍할 수 있습니다. 이 패키지에 포함 된 표준 하드웨어 구성 요소는 보조 가스 패킷 히터 (gas packet heater), 자동 가스 공급 시스템 (automatic gas supply system) 및 원격 전기 충격 장치 (electrical shock unit) 로 안전하고 안정적인 작동을 제공합니다. "에처 '의 공정" 챔버' 에는 최적 의 온도 와 압력 을 유지 하기 위한 독립 냉각기 가 장착 되어 있다. 효율적인 펌핑 도구는 에칭 과정에서 입자 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 챔버의 온도 제어는 PID 유형 컨트롤러에 연결된 PID 온도 컨트롤러를 통해 이루어집니다. NE 550 은 에칭 후 기판의 수송· 접착을 위한 고정밀도 단계 (high-precision stage) 와 식각 과정에서 기판의 선택과 장소를 위한 정밀 자동 이동을 갖춘 로봇암 (robot arm) 을 탑재한다. "로봇 '암 은" 모터 인코더' 에 의하여 구동 되며, 기판 의 위치 는 기판 의 정확 한 처리 를 위해 측정 된다. 안전성 면에서, 기계는 사고의 위험을 줄이기 위해 가스 누출 (gas leaks) 을 감지하도록 설계되었습니다. 또한, 기계에는 비상 정지 버튼, 탈출 감지 기능 및 자동 차단 메커니즘이 포함 된 광범위한 안전 제어 자산이 포함됩니다. 전반적으로 ULVAC NE 550 에처/애셔 (etcher/asher) 는 고정밀 부품의 대량 생산에 이상적인 솔루션으로, 광범위한 재료와 함께 사용하기에 적합합니다. 작동이 쉽고, 안정적이며, 안전과 정확성을 염두에 두고 설계되었습니다.