판매용 중고 ULVAC Enviro #9398706

ULVAC Enviro는 고급 반도체 제작 프로세스의 과제를 충족시키기 위해 설계된 탁월한 에칭/애싱 시스템입니다. TCO (총 프로세스 제어) 를 위한 신뢰성이 높은 자동 보호 메커니즘을 갖춘 고급 시스템입니다. 이 시스템에는 프로세스 상태를 정확하게 모니터링하고 높은 수준의 에칭/애싱 (etching/ashing) 성능을 제공하기 위해 자동 감지 및 제어 장치가 장착되어 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 터치 스크린 (Touch Screen) 을 제공하는 간편한 아이콘 구동 메뉴를 통해 작업 및 검색 기능을 간편하게 수행할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어를 통해 최대 10 가지 에칭/애싱 레시피를 저장하고 신속하게 리콜 할 수 있습니다. 포함 된 냉각 (cooling) 및 난방 (heating) 프로그램은 미리 설정된 온도 및 프로세스 시간 권장 사항과 함께 제공되며, 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. ULVAC Enviro는 각 챔버에 대해 별도의 컨트롤이있는 4 개의 공정 챔버를 제공합니다. 고품질 에칭/애싱 결과를 얻기 위해 ULVAC 에치 챔버 (etch chamber) 에는 조정 가능한 플레이트 어셈블리가 제공되며, 이는 전체 플레이트 영역에 걸쳐 매우 균일한 에칭 패턴을 제공합니다. 이것은 동일한 배치 주기 동안 다른 반도체 재료의 에칭/애싱 특성을 보존하는 데 도움이됩니다. 에치/애셔 (etch/asher) 는 공정의 요구를 충족시키기 위해 자동 가스 혼합물 (gas mixture mix) 을 갖춘 완전한 스마트 웨이퍼 트리머 장치에 연결할 수 있습니다. Enviro는 또한 고온 알루미늄 챔버 (최대 600-) 를 제공하며, 이 프로세스는 고급 반도체 제작에 사용되는 수백 개의 스테인리스 스틸, 니켈 및 텅스텐 합금의 초단계 기능 에칭/애싱을 충족하도록 설계되었습니다. ULVAC Enviro 는 업계 최고 수준의 신뢰성, 소재 에칭/애싱 (ashing) 결과를 제공합니다. 단순한 메뉴 옵션, 제어 기능, 신뢰할 수 있는 프로세스 챔버 설계로 프로세스 시간이 단축되고 수익률이 향상됩니다. ULVAC etch/ash 기술은 생산성 향상, 샘플 비용 절감, 최적의 장치 안정성 및 성능을 보장합니다.