판매용 중고 ULVAC Enviro #293590385

ULVAC Enviro
제조사
ULVAC
모델
Enviro
ID: 293590385
Downstream microwave asher.
ULVAC Enviro는 다양한 재료를 청소하고 에칭하는 효율적이고 비용 효율적인 수단을 제공하는 에처 (etcher )/애셔 (asher) 장비입니다. 광범위한 에칭 (etching), 클리닝 (cleaning) 및 기타 표면 준비 기능을 수행하도록 설계되었습니다. 고정밀 클리닝, 에칭 또는 기타 표면 준비 작업이 필요한 응용 프로그램에 이상적입니다. Enviro 시스템은 특허를 획득한 진공 리프트 (vacuum lift) 및 고급 공정 제어 기술을 활용하여 표면 준비 결과를 개선합니다. 이 장치는 소모성 (consumable) 스테이지로 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스 매개변수를 수용할 수 있는 이동식 (removable )/교체 가능 (replaceable) 스테이지 프레임을 갖추고 있습니다. ULVAC Enviro 장치의 진공 리프트 (vacuum lift) 기능을 사용하면 공정 중에 기판을 이동하여 표면 준비의 균일성을 향상시킬 수 있습니다. 에칭 (etching) 및 기타 작업에 Enviro를 사용하여 제조업체는 균일하고 반복 가능한 프로세스 제어로 인해 높은 에칭 정밀도와 더 나은 수율을 달성 할 수 있습니다. 실제로 ULVAC Enviro 기계에서 얻은 Etching precision은 다른 시스템의 Etching Precision보다 몇 배 높습니다. 이 도구는 또한 저온 프로세스 제어 회로 (low temperate process control circuit) 를 특징으로하며, 이 회로는 웨이퍼의 균일 한 열 분포가 제대로 완료되도록 보장합니다. Enviro 에셋은 또한 고급 프로세스 모니터링 (advanced process monitoring) 기능을 제공하여 프로세스 매개변수 및 모델 성능에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 여기에는 온도 피드백, 프로세스 시간 모니터링, 용융 속도 모니터링 및 경보 기능이 포함됩니다. 또한, 장비에는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어, 운영자가 쉽게 에칭 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이를 통해 에칭 프로세스의 정확도를 높일 수 있으며, 공급업체는 처리 시간 (turnaround time) 을 단축할 수 있습니다. ULVAC Enviro 시스템은 사용자 정의가 용이하여 스퍼터링 (sputtering), 조각 (engraving) 등 다양한 전문 에칭 프로세스를 추가할 수 있습니다. 또한 수동화, 산화, 어닐링과 같은 다양한 비 에칭 작업에도 사용할 수 있습니다. 전반적으로 Enviro는 뛰어난 에칭 성능을 제공하는 강력한 에칭/애셔 장치입니다. 사용자 지정 작업이 간편하며, 고급 프로세스 모니터링을 통해 정확성이 향상되고 처리 속도가 빨라집니다. 제조업체는 이 시스템을 활용하여 제품이 필요한 표준을 충족하도록 할 수 있으며, 생산량 (production revield) 이 높아지고 고객 만족도 (CS) 가 높아집니다.
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