판매용 중고 ULVAC Enviro I #188432

제조사
ULVAC
모델
Enviro I
ID: 188432
웨이퍼 크기: 6"
Resist strippers, 6" With (2) spare parts pallets.
ULVAC Enviro I은 세계 최고의 에칭 및 처리 기술 제조업체 인 ULVAC에서 제공하는 etcher/asher 장비입니다. Enviro I은 단일 시스템에 다중 에칭, 애싱 (ashing) 및 재료 처리 기능을 통합하는 올인원 (All-in-one) 설계입니다. 이를 통해 광범위한 제작에 매우 다양하고 비용 효율적인 솔루션이 될 수 있습니다. ULVAC Enviro I은 실리콘, 세라믹, 텅스텐, 알루미늄 등 다양한 재료에 사용할 수있는 고급 에칭 프로세스를 갖추고 있습니다. 또한 실리콘, 알루미늄, 석영, 플라스틱 등 다양한 재료의 이방성 에칭을 수행 할 수 있습니다. 정확한 경계와 고해상도 피쳐라인 (feature line) 을 가진 모양을 생성할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 제어 난방 공정을 허용하는 어닐링 (annealing) 기능이 있으며, 정확한 치수로 기판을 생성할 수 있습니다. 대부분의 Enviro I 구성 요소는 모듈식으로 구성되며, 빠르고 쉽게 재구성할 수 있으므로 운영 워크플로우를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 여기에는 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 옵션과 여러 수준의 온도 조절이 포함됩니다. 일체형 질소 "가스 '공급 도 포함 되어 있는데, 이" 가스' 를 사용 하면 입자 오염 을 줄이고 더 정확 한 모양 을 만들 수 있다. 결과적으로 ULVAC Enviro I은 섬세한 부품을 생산하는 데 매우 효과적인 도구입니다. 또한 유지 보수가 필요 없는 설계를 통해 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 Enviro I의 크기는 컴팩트하며 Tabetop 또는 데스크톱 위치에 맞출 수 있습니다. 이것은 작은 공간에서 관리하는 데 이상적입니다. 또한, 이 장치는 다른 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스와 비교하여 전력 사용량을 절약할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 ULVAC Enviro I은 강력한 에칭 및 애싱 머신으로, 비용 효율적인 패키지로 고급 기능을 제공합니다. 정밀도 (Precision), 정밀도 (Consistency) 로 재료를 에치 (Etch) 및 애쉬 (Ashe) 할 수 있어 많은 응용 프로그램에 적합한 안정적이고 다면적인 솔루션입니다.
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