판매용 중고 LAM RESEARCH 4520 #9210316

LAM RESEARCH 4520
제조사
LAM RESEARCH
모델
4520
ID: 9210316
웨이퍼 크기: 6"
Etcher, 6".
LAM RESEARCH 4520은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 장치는 에칭 (etching) 과 웨이퍼 (wafer) 와 기판의 애싱 (ashing) 에서 최고 품질의 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 4520은 높은 진공 환경을 사용하여 에칭 및 애싱 프로세스를 수행합니다. 이를 통해 에칭과 재싱은 산소가없는 오염 물질이없는 환경에서 수행됩니다. 이를 통해 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스의 결과가 최고 품질임을 확인할 수 있습니다. 가능한 최고의 에칭 및 애싱 프로세스를 사용하기 위해 LAM RESEARCH 4520에는 Hot Edge Oasis 핫 에지 플라즈마 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 기질의 효율적인 기화 (vaporization) 와 산화를 가능하게함으로써 우수한 에칭 및 애싱 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 4520은 품질 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 지원하기 위해 최신 기술로 설계되었습니다. 정밀 동작 및 스캐닝 컨트롤과 초안정, 저진공 챔버가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 불분명 한 긴장 없이 재료를 정확하고 안정적으로 에치 (etch) 하거나 애쉬 (ash) 할 수 있으므로 품질 제품을 보장할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자재 처리 (automated material handling) 도구를 갖추고 있으며, 다양한 웨이퍼와 기판 크기와 모양 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4520 (LAM RESEARCH 4520) 은 또한 강력한 소프트웨어 제어 패키지를 통해 에칭과 재싱이 빠르고 효율적으로 수행되도록 합니다. 이 소프트웨어에는 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 최적화하는 데 도움이 되는 종합적인 자산 진단, 레시피 및 데이터 로깅 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 본 소프트웨어는 완전한 안전 및 프로세스 모니터링 (safety and process monitoring) 기능을 제공하여 운영자, 기계, 웨이퍼 또는 기판의 가장자리를 안전하게 보호합니다. 반도체 (반도체) 업계의 요구를 충족할 수 있는 안정적이고 효율적인 기계다. 고품질 소재를 정확하고 신속하게 에칭 (etching), 매싱 (ashing) 하는 동시에 안전하고 안정적인 환경을 제공한다. LAM 리서치 4520 (LAM RESEARCH 4520) 은 첨단 기술과 소프트웨어 제어 패키지를 통해 최고의 품질의 결과를 얻고자 하는 사람들을 위한 완벽한 어처구니 (etcher) 이며,
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