판매용 중고 RUDOLPH S3000A #9270931

제조사
RUDOLPH
모델
S3000A
ID: 9270931
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Thickness measurement system, 12" 2012 vintage
RUDOLPH S3000A는 박막 및 표면의 고정밀 측정을 위해 설계된 다재다능하고 정확한 타원계입니다. 최첨단 옵티컬 엔진 (Optical Engine) 과 사용이 간편하고 간편한 소프트웨어 (Software) 를 결합한 모델로, 광범위한 애플리케이션에 대한 정확한 프로세스 제어 및 품질 보증을 지원합니다. RUDOLPH S 3000 A에는 샘플 표면의 비파괴적 (non-destructive) 및 현장 (in situ) 측정을 허용하는 정확한 측정 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 반사 된 광도 및 편광의 변화를 감지하여 나노 미터 스케일 박막 (nanometer-scale thin film) 의 정확한 두께 및 굴절률 측정을 가능하게합니다. 이 모델은 또한 높은 반복성, 정확성, 장기적인 안정성을 제공하여 까다로운 다양한 도량형 (metrology) 애플리케이션에 적합합니다. S3000A는 온도 및 환경 변화를 감지하고 보상하는 자체 교정 광학 엔진을 갖추고 있습니다. 광섬유 선택 가능 레이저 다이오드 소스의 최적 작동 범위는 190 ~ 1100 nm이며, 모델은 단일 파장 및 이중 파장 연산을 모두 지원합니다. 또한 넓은 시야의 고해상도 컬러 CCD 검출기가 있습니다. S 3000 A는 강력한 Windows 기반 운영 장치에서 실행되며, 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 또한 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 를 통해 사용자는 안정적이고 반복 가능한 프로세스 제어를 유지하고 자동화된 단계별 사용자 지침을 제공할 수 있습니다. 또한 필름 두께, 서피스 거칠기 (surface roughness), 광학 상수 등 다양한 데이터를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 모델은 완전하게 자동화된 네트워크에 통합되어 운영 프로세스를 지속적으로 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, RUDOLPH S3000A는 정확하고 신뢰할 수있는 타원계로, 광범위한 박막 및 표면 측정 응용 분야에 적합합니다. 최첨단 옵티컬 엔진과 사용자 친화적 운영 체제 (user-friendly operating machine) 및 소프트웨어 (software) 를 결합한 이 타원계는 수년간 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있는 서비스를 제공하도록 설계되었습니다.
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