판매용 중고 ULVAC Rise 300 #293587423

ULVAC Rise 300
ID: 293587423
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
System, 12" 2004 vintage.
ULVAC Rise 300은 ULVAC에서 제조 한 확산 로와 액세서리입니다. 그것 은 여러 가지 물질 의 "어닐링 '및 열적 확산 으로부터 반도체" 도핑' 에 이르기 까지, 광범위 한 응용 을 지닌 첨단 용광로 이다. 단일 단계, AC 전원, 수평 타입 퍼니스로 최대 부하 용량 350 KG로 3100 ° C까지 작동 할 수 있습니다. 용광로에는 최대 3000 kW의 가열 용량을 가진 스테인레스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 와 창 열 방사선을 줄이고 효율성을 향상시키는 특수 냉기 유동 설계 (cold airflow design) 가 있습니다. 이 장치에는 또한 3 개의 독립적 인 영역이있는 보호 된 솔리드 스테이트 온도 컨트롤러 (solid-state temperature controller) 가 있으므로 정확한 온도 조절이 가능합니다. 또한 진공 또는 대기 대기에서 작동 할 수 있으며, 작동 중 소음 감소를 보장하면서 공정을 개선 할 수 있습니다. 또한, 라이즈 300 (Rise 300) 에는 처리 중에 생성 될 수있는 먼지 입자를 수집하고 폐기하기 위해 추가 먼지 수집 상자가 제공됩니다. 또한 회전 (rotation) 및 디퓨저 (diffuser) 조정이 적용된 배기 덕트를 통해 효율성과 안전성이 향상되었습니다. 이 용광로 에는 또한 "오퍼레이터 '의 안전 과 환경 을 위한" 인터록' 장치 가 있으며, 사고 와 가염 가스/액체 를 방지 한다. 이 장치는 워크로드를 최소화하고, 준비 시간을 단축하고, 동시에 실행 주기를 연장하도록 설계되었습니다. 또한, 단면 터치 패널을 통해 유지 관리 및 작동이 간편합니다. 또한 최소 양의 센서를 사용하여 비용 효율적이고, 안정적이며, 효율적인 장치를 제공합니다.
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