판매용 중고 SVG / THERMCO / AVIZA 5204 #9043980

SVG/THERMCO/AVIZA 5204는 반도체 산업의 웨이퍼 처리 응용 분야에 이상적인 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 시스템은 최적의 기기 성능을 달성하기 위한 최적의 온도 조절 및 균일성을 제공합니다. 챔버 크기는 375x350x250mm이며 챔버는 최대 1150 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. SVG 5204는 사용자 정의 웨이퍼 로딩 장치와 카세트 운송 기계에 대한 내부 카세트를 갖추고 있습니다. 인보드 온도 센서는 정밀도를 보장하고 온도 프로파일을 제어합니다. 방사형 확산 시간은 설정이 간단하며, 광범위한 반복 가능성을 제공합니다. 다른 기능으로는 PAL (Precision Swing Arm Load Lock) 챔버, 고급 세라믹 근막, 솔리드 스테이트 전원 제어 회로 및 AutoTune 도구를 사용한 PID 제어가 있습니다. AVIZA 5204의 가열 요소는 원소 당 1 옴 (ohm) 의 저항을 갖는 접지 된 전기 저항 원소이다. 이것은 챔버에서 온도 분포를 보장합니다. 온도 조절은 프로세스 전체에서 정확하고 일관됩니다. 가열 요소와 챔버 사이에 독립적 인 열 트랩 (heat trapping shield) 가 있어 안전성과 온도 정확도를 향상시킵니다. 확산 용광로는 또한 균일 한 가스 흐름을위한 가스 분포 노즐을 특징으로합니다. 가스 회로를위한 스테인리스 스틸 벨로우 (stainless steel bellows) 와 배기 팬을위한 별도의 온/오프 스위치 (on/off switch) 가 있습니다. 원하는 비율에 맞게 팬을 조정하여 효율을 극대화할 수 있습니다. 온보드 컴퓨터는 또한 모든 데이터를 모니터링하고 기록하여 제어 및 추적 능력을 보장합니다. 또한 5204 액세서리에는 흑연 서셉터, 고온 동적 프로세스 케이블, 고온 프로세스 라인 플랜지 및 저온 공격적인 프로세스 라인 플러그가 포함됩니다. 각 액세서리는 용광로 자산의 전체 설계에서 중요한 목적을 제공합니다. THERMCO 5204 확산 경로 및 액세서리 모델은 웨이퍼 구성 프로세스 전반에 걸쳐 정확하고, 일관성 있고, 반복 가능한 결과를 보장합니다. 반도체 제조업체와 연구실에서는 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 솔루션을 찾는 데 이상적인 선택입니다 (영문).