판매용 중고 IPS 300 CA #293614963
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IPS 300 CA는 Nederman의 확산 로와 액세서리 장비입니다. 반도체 소자 제작에 사용되는 어닐링 (annealing) 및 확산 (diffusion) 프로세스와 관련된 다양한 기능을 수행합니다. 300 CA 시스템은 어닐링 (annealing) 및 확산 프로세스 실행에 사용되는 연소실이 감소된 온도 조절 수평로입니다. 이 장치는 웨이퍼 크기와 레시피 생성 측면에서 광범위한 유연성을 제공하는 더블 벨트 (double belt) 유형입니다. 속도, 효율성 및 반복 가능성을 최적화하도록 설계되었습니다. IPS 300 CA 머신에는 두 개의 별개의 난방 영역 (전열 영역 및 확산 영역) 이 있으므로 전체 프로세스에 걸쳐 최적의 조건을 보장합니다. 전열 영역 (preheat zone) 은 확산 구역에 도달하기 전에 모든 프로세스 가스가 원하는 세트 포인트에 있는지 확인합니다. 이것 은 "기판 '원자 의 성공적 인 확산 에 도움 이 될 뿐 아니라, 일관성 있는 열 전도성 을 유지 하는 데 도움 이 된다. 전열 구역 (preheat zone) 은 또한 가스가 배출량을 줄이고 챔버 내 응축 가능성을 줄일 수있는 충분한 시간을 제공합니다. 300 CA (300 CA) 는 또한 자동화된 프로세스 제어 시스템 (automated process control system) 을 포함하여 뛰어난 온도 및 압력 감지 기능을 갖추고 있으며, 이는 확산 프로세스 전반에 걸쳐 최적의 프로세스 조건을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 난방 요소 와 "세라믹 실드 '가 있는 수직 으로 장착 된" 쿼츠' 관 "쿼츠 '관" 소오스' 는 "웨이퍼 '기판 위 에 균일 한 증착 을 보장 해 준다. 석영 튜브 소스는 또한 공정에 대한 빠른 온도 상승 및 쿨다운 (cool-down) 을 허용합니다. IPS 300 CA 도구는 또한 안전성을 향상시키고, 모든 종류의 운영자 오류 또는 사고를 방지하는 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 로가 압력을 받으면 가스 확산 과정에서 이중 잠금 보호 (dual-lock protection) 가 가장 안전합니다. 게다가, 자산은 가연성 기체의 존재로 인한 모든 종류의 치명적인 폭발을 방지하는 데 도움이되는, 본질적인 안전 측정뿐만 아니라 자동 과압 (over-pressure) 차단이 있습니다. 종합적으로, 300 CA 모델은 복잡한 어닐링 및 확산 프로세스가 필요한 반도체 장치 개발 프로세스에 이상적인 선택입니다. 견고하고 안정적인 설계를 갖춘 IPS 300 CA 장비는 기판 확산 및 어닐링을 위한 안전하고 시간 효율적인 방법을 제공합니다.
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