판매용 중고 AMTECH / TEMPRESS TS61004 4 #293610337

AMTECH / TEMPRESS TS61004 4
ID: 293610337
LP-CVD System.
AMTECH/TEMPRESS TS61004 4는 다양한 반도체 응용 분야에 사용되는 확산 로입니다. 금속, 유전체, 도자기, 복합 물질, 합금 등 다양한 물질을 열적으로 가공하고 확산시키는 데 사용됩니다. 용광로는 내부 CF4/S 수소 대기가있는 수직 흑연 벽 용기를 특징으로합니다. 용광로는 300 ° C ~ 1200 ° C 사이의 온도에 도달 할 수 있으며 빠른 열 처리가 가능합니다. 그것 은 강제적 인 대류 를 용광로 바닥 에 위치 한 "몰리브덴 '가열 원소 와 함께 사용 하는 열 분배" 시스템' 을 이용 하는데, 이 원소 는 혈관 벽 에 흑연 원소 와 결합 되어 있다. 이 설계는 샘플에 걸쳐 균일하고 반복 가능한 온도 프로파일을 보장합니다. 난방 원소는 또한 확산 과정에서 샘플의 산화 (oxidation) 및 왜곡 (distortion) 을 줄이기 위해 고안되었다. AMTECH TS61004 4에는 최대 1 ° C의 정확하고 반복 가능한 온도 측정이 가능한 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한 온도 경보 시스템 (Temperature Alarm System) 을 통해 사용자에게 온도 상승, 대기 압력 감소 등 모든 위험을 경고합니다. 이렇게 하면 사용자에게 충분한 경고 메시지가 표시되고 필요에 따라 확산 (diffusion) 프로세스를 조정할 수 있습니다. 용광로에는 쿨다운 (cool-down) 밸브가 장착되어 있어 용광로가 빠르고 안전하게 식을 수 있습니다. 냉각 밸브 (cooling valv) 와 강제 대류 시스템의 조합은 빠른 쿨다운 프로세스를 보장합니다. TEMPRESS TS61004 4 확산 로에는 프로세스 중 정확성과 안전을 보장하는 액세서리 및 도구도 포함되어 있습니다. 여기에는 처리 중인 샘플이 안전하고 안정적인지 확인하기 위한 샘플 홀더 (sample holder) 와 선박 내부의 압력이 안전한 작동 매개변수 내에 유지되도록 압력 모니터 (pressure monitor) 가 포함됩니다. 요약하면, TS61004 4는 안정적이고, 반복 가능하며, 효율적인 확산 로로 고품질 결과를 제공합니다. 다양한 부가 기능, 액세서리, 툴을 통해 위험과 최대한의 정확성을 통해 안전하고 정확한 확산 (diffusion) 프로세스를 구현할 수 있습니다.
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